【技术实现步骤摘要】
平面电机位移装置
本技术涉及精密运动领域，具体涉及一种平面电机位移装置。
技术介绍
磁浮平面电机运动台主要用于半导体装备中，例如扫描投影光刻机、晶圆切割机、倒装键合机等，其功能是承载晶圆做微纳米精度的精密运动，以实现对晶圆的精确加工。磁浮平面电机运动台一般包括一套平面电机、一套六自由度位移测量系统、一套功率放大器、一套运动控制器。例如专利号US6496093和EP3320400B1的文献对平面电机的拓扑结构做出创新，六自由度位移测量系统还是沿用传统的解决方案。传统的六自由度位移测量系统集成了一套三轴激光干涉仪和一套电涡流位移传感器。其中，三轴激光干涉仪用于实时测量运动台的X方向平动、Y方向平动和Z方向转动；至少三个电涡流位移传感器用来实时测量运动台的X方向转动、Y方向转动和Z方向平动。然而，激光干涉仪成本高昂，其精度对测量环境非常敏感：温度变化、湿度变化、空气流动都会造成扰动，降低其精度。电涡流位移传感器的成本也非常高昂。另一套方案是使用平面栅尺系统来代替激光干涉仪，但是平面栅尺的成本跟激光干涉仪在一个数量级。这两种...
【技术保护点】
1.一种平面电机位移装置，其特征在于，/n包括动子和定子，其中/n所述定子上设有在一个平面上延伸的磁体阵列，所述磁体阵列形成工作区域，所述定子上还平铺有至少一个第一方向平面栅尺和至少一个第二方向平面栅尺，所述至少一个第一方向平面栅尺的迹线彼此平行且沿第一方向间隔排列，所述至少一个第二方向平面栅尺的迹线彼此平行且沿第二方向间隔排列，所述第一方向和所述第二方向彼此相交；/n所述动子上设有第一方向三相线圈阵列和第二方向三相线圈阵列，并设置成能够在所述工作区域上方运动，且设有至少一个第一方向读数头和至少一个第二方向读数头，所述至少一个第一方向读数头和至少一个第二方向读数头随着所述动...
【技术特征摘要】
1.一种平面电机位移装置，其特征在于，
包括动子和定子，其中
所述定子上设有在一个平面上延伸的磁体阵列，所述磁体阵列形成工作区域，所述定子上还平铺有至少一个第一方向平面栅尺和至少一个第二方向平面栅尺，所述至少一个第一方向平面栅尺的迹线彼此平行且沿第一方向间隔排列，所述至少一个第二方向平面栅尺的迹线彼此平行且沿第二方向间隔排列，所述第一方向和所述第二方向彼此相交；
所述动子上设有第一方向三相线圈阵列和第二方向三相线圈阵列，并设置成能够在所述工作区域上方运动，且设有至少一个第一方向读数头和至少一个第二方向读数头，所述至少一个第一方向读数头和至少一个第二方向读数头随着所述动子的运动分别在所述至少一个第一方向平面栅尺和所述至少一个第二方向平面栅尺的平铺范围内移动。
2.根据权利要求1所述的平面电机位移装置，其特征在于，所述至少一个第一方向平面栅尺和/或所述至少一个第二方向平面栅尺的迹线由导电材料制成。
3.根据权利要求1所述的平面电机位移装置，其特征在于，所述第一方向和所述第二方向彼此正交，所述磁体阵列为二维Halbach阵列。
4.根据权利要求1所述的平面电机位移装置，其特征在于，所述至少一个第一方向读数头为至少两个第一方向读数头，或所述至少一个第二方向读数头为至少两个第二方向读数头。
5.根据权利要求1和4任一项所述的平面电机位移装置，其特征在于，所述至少一个第一方向读数头为位于所述工作台一对对角角部位置的两个第一方向读数头，所述至少一个第二方向读数头为位于所述工作台另一对对角角部位置的两个第二方向读数头。
6.根据权利要求1所述的平面电机位移装置，其特征在于，所述至少一个第一方向平面栅尺为覆盖所述工作区域相应一对对角区域的两个第一方向平面栅尺，和/或所述至...
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