一种废气净化处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种废气净化处理装置，进风口用于接入待处理的废气，进风口与预处理室连通，预处理室内设置有雾化喷头，洗涤室设置在预处理室远离进风口的一侧，洗涤室内设置有填充料，洗涤室的上方还设置有雾化喷淋头；水槽位于预处理室、洗涤室的下方，通过管路与雾化喷头连接；风机位于洗涤室远离预处理室的一侧，风机与排气管连接，用于输出处理好的废气，本专利申请接在晶圆工艺设备的出风口，将废气经过预处理室的喷淋、洗涤室的填料吸附、雾化喷淋，经喷林后的废气经过除雾器后取出雾粒、浆液后通过风机的动力进入到排气管排出，结构简单、处理成本较低，可去除尾气中的大部分酸碱水溶性气体。

【技术实现步骤摘要】
一种废气净化处理装置
本技术属于废气处理领域，尤其涉及一种废气净化处理装置。
技术介绍
ECS(ExhaustControlSystem)，废气控制装置，其工作原理为废气首先通过12个单独入口进入到装置内，然后经过预处理室进行预处理，最后进入洗涤室，洗涤室内有填料填充，上方有洗涤液雾化喷头，因为填料具有较大的比表面积，以及废气和洗涤液采用了逆流原理，从而达到了最优废气洗涤效率,目前ECS装置主要用于半导体晶圆清洗领域。目前国内半导体行业处于高速发展的阶段，其中晶圆的清洗工艺贯穿了整个生产产线，因此也伴随着大量的清洗剂废气产生，只有通过处理后的废气才能达到国家废气排放标准。
技术实现思路
本技术的目的是提供废气净化处理设备，实现晶圆工艺废气的处理，通过以下技术方案来实现：包括：设备框架，设置在设备框架外部的进风口，设置在设备框架内部的预处理室、洗涤室、水槽和风机，预处理室和洗涤室之间采用隔板隔离，所述进风口用于接入待处理的废气，所述进风口与预处理室连通，所述预处理室内设置有雾化喷头，所述洗涤室设置在预处理室远离进风口的一侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种废气净化处理装置，包括：设备框架，设置在设备框架外部的进风口，设置在设备框架内部的预处理室、洗涤室、水槽和风机，其特征在于：所述进风口用于接入待处理的废气，所述进风口与预处理室连通，所述预处理室内设置有雾化喷头，所述洗涤室设置在预处理室远离进风口的一侧，所述洗涤室内设置有填充料，所述洗涤室的上方还设置有雾化喷淋头；所述水槽位于预处理室、洗涤室的下方，通过管路与雾化喷头连接；所述风机位于洗涤室远离预处理室的一侧，所述风机与排气管连接，用于输出处理好的废气。/n

【技术特征摘要】
1.一种废气净化处理装置，包括：设备框架，设置在设备框架外部的进风口，设置在设备框架内部的预处理室、洗涤室、水槽和风机，其特征在于：所述进风口用于接入待处理的废气，所述进风口与预处理室连通，所述预处理室内设置有雾化喷头，所述洗涤室设置在预处理室远离进风口的一侧，所述洗涤室内设置有填充料，所述洗涤室的上方还设置有雾化喷淋头；所述水槽位于预处理室、洗涤室的下方，通过管路与雾化喷头连接；所述风机位于洗涤室远离预处理室的一侧，所述风机与排气管连接，用于输出处理好的废气。


2.根据权利要求1所述的一种废气净化处理装置，其特征在于：还包括旁路排气系统，所述旁路排气系统设置于设备框架的上方，所述旁路排气系统与预处理室和备用排气管道连接。


3.根据权利要求1所述的一种废...

【专利技术属性】
技术研发人员：王贝易，许东京，孙涛，
申请(专利权)人：盛奕半导体科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32