【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】显示背板及其制造方法、显示面板和显示装置
本公开涉及显示
，尤其涉及一种显示背板及其制造方法、显示面板和显示装置。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)显示面板由于具有低功耗、高颜色饱和度、广视角、薄厚度、可实现柔性化等优异性能，逐渐应用于智能手机、平板电脑、电视等终端产品。相关技术中，采用低温多晶氧化物(LowTemperaturePolycrystallineOxide，LTPO)工艺来形成OLED显示面板的背板。
技术实现思路
根据本公开实施例的一方面，提供一种显示背板，包括：基板；位于所述基板一侧的第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管，其中：所述第一薄膜晶体管包括第一有源层，所述第二薄膜晶体管包括第二有源层，所述第一有源层和所述第二有源层位于同一层，并且所述第一有源层的材料与所述第二有源层的材料不同。在一些实施例中，所述第一薄膜晶体管包括位于所述第一有源层远离所述基板一侧的第一栅极电介质层，所述第二薄膜晶体管包括位于所述第二有源层远离所述基板一...
【技术保护点】
一种显示背板，包括：/n基板；/n位于所述基板一侧的第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管，其中：/n所述第一薄膜晶体管包括第一有源层，所述第二薄膜晶体管包括第二有源层，所述第一有源层和所述第二有源层位于同一层，并且所述第一有源层的材料与所述第二有源层的材料不同。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
【国外来华专利技术】一种显示背板，包括：
基板；
位于所述基板一侧的第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管，其中：
所述第一薄膜晶体管包括第一有源层，所述第二薄膜晶体管包括第二有源层，所述第一有源层和所述第二有源层位于同一层，并且所述第一有源层的材料与所述第二有源层的材料不同。
根据权利要求1所述的显示背板，其中，所述第一薄膜晶体管包括位于所述第一有源层远离所述基板一侧的第一栅极电介质层，所述第二薄膜晶体管包括位于所述第二有源层远离所述基板一侧的第二栅极电介质层，所述第一栅极电介质层比所述第二栅极电介质层更致密。
根据权利要求2所述的显示背板，其中，所述第一薄膜晶体管还包括：
第三栅极电介质层，位于所述第一栅极电介质层远离所述第一有源层的一侧；
其中，所述第三栅极电介质层与所述第二栅极电介质层通过同一构图工艺形成。
根据权利要求3所述的显示背板，其中，所述第一栅极电介质层在所述基板上的正投影为第一投影，所述第三栅极电介质层在所述基板上的正投影为第二投影，所述第一投影覆盖所述第二投影，并且，所述第一投影的面积大于所述第二投影的面积。
根据权利要求1所述的显示背板，其中，所述第一有源层的厚度小于所述第二有源层的厚度。
根据权利要求1或5所述的显示背板，其中，所述第一薄膜晶体管还包括与所述第一有源层接触的欧姆接触层，所述欧姆接触层包括间隔开的第一部分和第二部分；
所述显示背板包括层间电介质层，所述层间电介质层具有使得所述第一部分的第一区域露出的第一开口和使得所述第二部分的第二区域露出的第二开口；
所述第一薄膜晶体管还包括位于所述第一开口中且与所述第一区域接触的第一源极、以及位于所述第二开口中且与所述第二区域接触的第一漏极。
根据权利要求6所述的显示背板，其中：
所述层间电介质层还具有使得所述第二有源层的第三区域露出的第三开口和使得所述第二有源层的第四区域露出的第四开口；
所述第二薄膜晶体管还包括位于所述第三开口中且与所述第三区域接触的第二源极、以及位于所述第四开口中且与所述第四区域接触的第二漏极；
其中，所述第一源极、所述第一漏极、所述第二源极和所述第二漏极通过同一构图工艺形成。
根据权利要求7所述的显示背板，其中：
所述第一薄膜晶体管包括位于所述第一栅极电介质层远离所述第一有源层一侧的第一栅极；
所述第二薄膜晶体管包括位于所述第二栅极电介质层远离所述第二有源层一侧的第二栅极，所述第二栅极和所述第一栅极通过同一构图工艺形成。
根据权利要求1所述的显示背板，其中，所述第一有源层的材料包括二硫化钼或氧化物半导体，所述第二有源层的材料包括氧化物半导体。
根据权利要求1所述的显示背板，其中：
所述第一薄膜晶体管为驱动电路的薄膜晶体管或像素中的开关晶体管；
所述第二薄膜晶体管为用于驱动像素中的发光器件发光的驱动晶体管。
技术研发人员：牛亚男，王久石，陈蕾，田宏伟，曹占锋，关峰，张锋，舒适，彭宽军，张宜驰，齐琪，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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