【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种气敏传感器，特别涉及一种可以在室温下工作的电导型气敏传感器。具体地说，是一种利用纳米氧化锌粒子作为气敏膜的电导型气敏传感器，采用低阻的N型掺杂多晶硅作为叉指电极，该传感器无需加热电源，在室温下就可以工作。
技术介绍
常用的电导型气敏传感器需要在300℃以上的温度下工作，才能获得足够的灵敏度。电导型气敏传感器是利用待测气体分子与气敏材料表面发生化学吸附或反应引起的电荷转移，进而导致电导率的变化来检测气体分子的存在的。温度太低，反应不能发生或反应不明显，因此一般的电导型气敏传感器工作时都需将气敏材料加热到300℃以上的温度，有的还需在气敏材料中添加催化剂。由于工作温度高，必须配置加热器，这样不但能耗很大，高温还会使叉指电极和气敏层容易老化，特别是由于加热器的存在，给电导型气敏传感器微型化、集成化带来困难，因此如何设计一种能够在常温下工作、微型、而且与硅集成电路工艺兼容的气敏传感器，是当前气敏传感器研究的热点之一。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种无需加热装置可以在室温下工作的微型电导型气敏传感器，去除加热器，采用N型掺杂多晶硅作为叉指电极，使...
【技术保护点】
一种可以在室温下工作的电导型气敏传感器，包括衬底（１），绝缘层（２），叉指电极（３），气敏层（４），其特征在于：衬底（１）为硅单晶衬底，绝缘层（２）为二氧化硅绝缘层，叉指电极（３）采用Ｎ型掺杂多晶硅电极，其掺杂浓度大于１０↑［１８］ｃｍ↑［－３］，电极宽度及其间距皆为５－１００μｍ，电极的对数不少于１对，气敏层（４）为纳米氧化锌气敏层，氧化锌颗粒尺寸为５－３５ｎｍ。
【技术特征摘要】
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