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一种可以在室温下工作的电导型气敏传感器，其特征在于衬底（１）为硅单晶衬底，绝缘层（２）为二氧化硅绝缘层，叉指电极（３）采用Ｎ型掺杂多晶硅电极，气敏层（４）为纳米氧化锌气敏层。同现有技术比较，本发明具有以下突出的优点：本发明的电导型气敏传感器...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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