一种喷淋式冷却溅射阴极磁棒装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种喷淋式冷却溅射阴极磁棒装置，包括靶管、磁铁以及冷却液管路，其中所述磁铁置于所述靶管的内部，所述冷却液管路具有冷却液进口、冷却液出口以及冷却液喷淋口，所述冷却液进口与所述冷却液出口相连通，所述冷却液喷淋口开设在所述冷却液管路上且朝向所述靶管以构成喷淋式冷却。本发明专利技术的优点是：1）可以在各种角度工作的溅射阴极内部使用，避免因为靶管内部存在气泡或者未充满冷却液造成靶材开裂；2）磁棒的局部磁场强度可以通过外部的磁铁背部连杆方便调节；3）磁棒的磁铁与冷却液完全隔离，避免冷却液对磁铁的不良影响，保证磁棒的使用性能。

【技术实现步骤摘要】
一种喷淋式冷却溅射阴极磁棒装置
本专利技术涉及薄膜制备
，尤其是一种喷淋式冷却溅射阴极磁棒装置。
技术介绍
随着磁控溅射阴极在真空镀膜领域的应用越来越广泛，溅射阴极的工作方式也变得多样化，比如向上溅射、向下溅射、倾斜溅射等；又比如直流溅射、中频溅射、射频溅射等。磁控溅射阴极在工作中产生的多余热量会对镀膜工艺和溅射阴极自身产生不利影响，因此需要在磁控溅射阴极中设置冷却机构以保证磁控溅射阴极稳定工作。对于传统的磁棒，目前多采用浸没式冷却的方案。主要方式是通过磁棒的冷却液内管或者外管使冷却液充满整个靶管内部，并依靠液体的流动来带走溅射阴极工作时靶管产生的热量。但是，现有的溅射阴极溅射面和磁棒结构的配置往往会造成靶管内部残留一些空间没有被冷却液填满，这样容易造成局部区域靶管无法被有效冷却；这种情况进一步发展，伴随着热量的聚集，将造成靶管受热不均而形成开裂。
技术实现思路
本专利技术的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种喷淋式冷却溅射阴极磁棒装置，采用喷淋式冷却方案，实现溅射阴极靶管的冷却。>本专利技术目的实现本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种喷淋式冷却溅射阴极磁棒装置，其特征在于：所述装置包括靶管、磁铁以及冷却液管路，其中所述磁铁置于所述靶管的内部，所述冷却液管路具有冷却液进口、冷却液出口以及冷却液喷淋口，所述冷却液进口与所述冷却液出口相连通，所述冷却液喷淋口开设在所述冷却液管路上且朝向所述靶管以构成喷淋式冷却。/n

【技术特征摘要】
1.一种喷淋式冷却溅射阴极磁棒装置，其特征在于：所述装置包括靶管、磁铁以及冷却液管路，其中所述磁铁置于所述靶管的内部，所述冷却液管路具有冷却液进口、冷却液出口以及冷却液喷淋口，所述冷却液进口与所述冷却液出口相连通，所述冷却液喷淋口开设在所述冷却液管路上且朝向所述靶管以构成喷淋式冷却。


2.根据权利要求1所述的一种喷淋式冷却溅射阴极磁棒装置，其特征在于：所述冷却液管路相较于所述磁铁的长度布置方向通长设置，且所述冷却液喷淋口在所述冷却液管路上呈间隔阵列式布置。


3.根据权利要求1所述的一种喷淋式冷却溅射阴极磁棒装置，其特征在于：所述磁铁的外围通过设置磁铁外壳封闭，使所述磁铁与所述冷却液管路中的冷却液相隔离。


4.根据权利要求3所述的一种喷淋式冷却溅射阴极磁棒装置，其特征在于：所述冷却液管路上具有至少一个冷却液进口以及至少两个阵列式布置的冷却液出口，所述冷却液进口位于所述冷却液管路的中间位置，所述冷却液出口分别对称布置于所述磁铁外壳的外围，使所述冷却液管路内部自所述冷却液进口至所述冷却液出口分为均匀对称的冷却液流动路径。

【专利技术属性】
技术研发人员：靳伟，曹永军，陈建飞，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31