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本发明涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种喷淋式冷却溅射阴极磁棒装置，包括靶管、磁铁以及冷却液管路，其中所述磁铁置于所述靶管的内部，所述冷却液管路具有冷却液进口、冷却液出口以及冷却液喷淋口，所述冷却液进口与所述冷却液出口相连通，所述冷却液喷淋口...
该专利属于光驰科技(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光驰科技(上海)有限公司授权不得商用。

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