【技术实现步骤摘要】
自动插片机
本技术涉及自动化设备领域,特别是涉及自动插片机。
技术介绍
目前,在太阳能电池扩散制程工艺中,石英舟作为硅片的承载件,用于在石英炉管内进行扩散工艺,其耐受温度可达800℃以上。在该工艺之前需要人工搬运石英舟至扩散炉,工艺完成后再由人工搬出扩散炉,然后再将石英舟上的硅片从石英舟转移至花篮内流转到下一道制程,这种人工转移硅片的方式劳动强度大,费时费力,容易影响硅片的质量,并对石英舟造成污染。
技术实现思路
针对上述现有技术的缺点,本技术的目的是提供一种自动插片机。相对于现有技术来说,本技术可以实现硅片从石英舟向花篮的自动转移,省时省力,大大降低了工人的劳动强度,具有自动化程度高的优点。为实现上述目的,本技术的技术方案如下:一种自动插片机,包括工作台,于所述工作台上安装至少一石英舟移载装置、至少一顶出装置、至少一夹紧装置、至少一多轴伺服装置、至少一吸取装置及至少一花篮移载装置,所述至少一石英舟移载装置用于石英舟的直线运动,所述至少一花篮移载装置用于花篮的直线运动,所述至少一夹紧装置安装在 ...
【技术保护点】
1.自动插片机,包括工作台(1),其特征在于:于所述工作台(1)上安装至少一石英舟移载装置(2)、至少一顶出装置(3)、至少一夹紧装置(4)、至少一多轴伺服装置(5)、至少一吸取装置(6)及至少一花篮移载装置,所述至少一石英舟/n移载装置(2)用于石英舟的直线运动,所述至少一花篮移载装置(7)用于花篮(710)的直线运动,所述至少一夹紧装置(4)安装在所述多轴伺服装置(5)上用于夹紧硅片,所述至少一吸取装置(6)安装在所述多轴伺服装置(5)的至少一运动端,以用于吸取硅片,所述至少一顶出装置(3)安装在所述工作台(1)的内部并分别与至少一石英舟移载装置(2)、至少一花篮移载装 ...
【技术特征摘要】
1.自动插片机,包括工作台(1),其特征在于:于所述工作台(1)上安装至少一石英舟移载装置(2)、至少一顶出装置(3)、至少一夹紧装置(4)、至少一多轴伺服装置(5)、至少一吸取装置(6)及至少一花篮移载装置,所述至少一石英舟
移载装置(2)用于石英舟的直线运动,所述至少一花篮移载装置(7)用于花篮(710)的直线运动,所述至少一夹紧装置(4)安装在所述多轴伺服装置(5)上用于夹紧硅片,所述至少一吸取装置(6)安装在所述多轴伺服装置(5)的至少一运动端,以用于吸取硅片,所述至少一顶出装置(3)安装在所述工作台(1)的内部并分别与至少一石英舟移载装置(2)、至少一花篮移载装置(7)供料端接触,以用于将料件从石英舟或花篮(710)中顶出。
2.如权利要求1所述的自动插片机,其特征在于:所述至少一石英舟移载装置(2)的具体结构如下:
包括第一直线模组、至少一组卡紧部及至少一定位部,所述至少一组卡紧部固接在所述第一直线模组的运动端,在靠近卡紧部处、在所述第一直线模组的运动端还固接定位部。
3.如权利要求2所述的自动插片机,其特征在于:所述卡紧部包括卡块(213),在所述卡块(213)的表面开设用于卡接石英舟(211)侧板的卡口;所述定位部包括一气缸(208),所述气缸(208)的活塞与固定板(209)连接,在所述固定板(209)上连接至少一定位头(210)。
4.如权利要求1所述的自动插片机,其特征在于:所述至少一顶出装置(3)包括第二直线模组(302)、安装座(304)、竖板(305)、第一固定板(306)及至少一顶板(307),所述安装座(304)固定在所述第二直线模组的运动端,所述竖板(305)的一端与安装座(304)固接,所述第一固定板(306)连接在竖板(305)的另一端,所述至少一顶板(307)的一端与所述第一固定板(306)固接,在所述至少一顶板(307)的另一端开设至少一第一梳齿(308)。
5.如权利要求1所述的自动插片机,其特征在于:所述至少一夹紧装置(4)包括夹紧气缸(401),在所述夹紧气缸(401)具有至少一活塞(402),所述至少一活塞(402)与第二固定板(403)的一端连接,所述第二固定板(403)上固接至少一纠偏板安装块...
【专利技术属性】
技术研发人员:季徐华,杨海波,
申请(专利权)人:无锡森顿智能科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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