用于硅片生产线的翻片机结构制造技术

本实用新型专利技术涉及用于硅片生产线的翻片机结构，包括机架组件，于所述机架组件内部分别安装安装一对进片组件、一对输送组件、一对翻片组件、一对后部皮带输送组件及一对储片组件，所述进片组件和输送组件用于硅片进入生产线并持续输送，所述翻片组件用于实现多片硅片翻转，所述后部皮带输送组件用于将翻转后的硅片输送至下一工位，所述储片组件用于储存硅片；本实用新型专利技术结构简单，使用方便，具有自动化程度高的优点，省时省力，大大降低了工人的劳动强度，节约了企业的人力投入。

【技术实现步骤摘要】
用于硅片生产线的翻片机结构
本技术涉及机械自动化设备领域，尤其涉及用于硅片生产线的翻片机结构。
技术介绍
硅片是最重要的半导体材料，目前90％以上的芯片和传感器是基于半导体单晶硅片制造而成。目前，针对硅片的输送及翻片均由人工实现，人工输送或翻片的方式费时费力，不仅提高了工人的劳动强度，还增加了企业的人力成本，即使采用皮带输送设备，也易在硅片的表面留下皮带痕迹，无法满足客户的需求。
技术实现思路
本申请人针对上述现有问题，进行了研究改进，提供用于硅片生产线的翻片机结构，其不仅能实现对硅片的自动翻片，还能实现自动运输，省时省力，有效避免在硅片表面留下皮带的痕迹，满足了客户的使用需求。本技术所采用的技术方案如下：用于硅片生产线的翻片机结构，包括机架组件，于所述机架组件内部分别安装安装一对进片组件、一对输送组件、一对翻片组件、一对后部皮带输送组件及一对储片组件，所述进片组件和输送组件用于硅片进入生产线并持续输送，所述翻片组件用于实现多片硅片翻转，所述后部皮带输送组件用于将翻转后的硅片输送至下一工位，所述储片组件用于储存硅片；所述进片组件的具体结构如下：包括第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端通过第一皮带传动机构与第一转轴连接，在所述第一转轴上分别配合第一侧板、第二侧板及用于稳定第一转轴的多个第一轴承座；在相邻第一侧板和第二侧板之间还设置多根第一被动转轴，在所述第一被动转轴和第一转轴上分别设置多组传送轮，在第一被动转轴和第一转轴伸出第一侧板及第二侧板的两端外圈均设置第一外皮带轮，相邻的第一外皮带轮之间通过第一传动带传动；相邻第一侧板和第二侧板之间固接承托板，各承托板的底部与多个顶升机构连接；所述输送组件的具体结构如下：包括第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出端通过第二皮带传动机构连接传动轴的传动端；还包括多组并列布置的输送轮组，相邻输送轮组之间通过第一联轴器联动，靠近第二伺服电机处的输送轮组与传动轴的另一端连接；所述翻片组件的具体结构如下：包括第三伺服电机，所述第三伺服电机的输出端与减速机的输入端连接，所述减速机的输出端通过第二联轴器连接第二转轴的一端，所述第二转轴的另一端与第二轴承座连接；在所述第二转轴上还配合多个隔座，在各隔座之间设置一对翻转片，各翻转片均通过轴套与第二转轴配合；所述后部皮带输送组件的具体结构如下：包括第四伺服电机，所述第四伺服电机的输出端与主同步带轮连接，所述主同步带轮通过同步带连接副同步带轮；还包括多个输送机构，每个输送机构均包括一对皮带轮安装板，相邻皮带轮安装板之间贯穿安装输送转轴，相邻输送转轴之间通过第三联轴器连接，在各块皮带轮安装板的外侧还依次转接第一皮带轮、第二皮带轮、第三皮带轮、第四皮带轮及第五皮带轮，所述第一皮带轮、第二皮带轮、第三皮带轮、第四皮带轮及第五皮带轮之间绕接输送皮带；于靠近第四伺服电机输送机构中输送转轴的一端与副同步带轮及第二皮带轮配合。其进一步技术方案在于：所述顶升机构包括气缸、顶升板，所述气缸的活塞杆与顶升板销接，所述顶升板的顶端与承托板的底部固接，所述气缸通过气缸固定板固定在机架组件上；所述输送组件包括一对第三侧板，在一对侧板之间转接多根第二被动转轴，每根第二被动转轴上配合一对输送轮，在各根第二被动转轴伸出第三侧板的轴端还配合第二外皮带轮，各相邻第二外皮带轮之间连接第二传动带；所述翻转片为圆形片体，在所述圆形片体上沿径向开设多个用于安装硅片的翻片开口槽，在所述圆形片体的中心开设转轴安装孔，以所述转轴安装孔为中心、在所述圆形片体上还均设多个固定片安装孔；所述储片组件的具体结构如下：包括安装座组件，在所述安装座组件的表面固接多个固定座，各固定座通过圆柱头螺钉与储片盒底部的多组耳部转接。本技术的有益效果如下：本技术结构简单，使用方便，进片组件、输送组件均采用传送轮和输送轮的方式输送硅片，避免传统采用皮带运输的方式，使得在硅片表面不易留下皮带印，翻片组件的设置可以实现多块硅片连续不间断的翻片，顶升机构及储片组件的设置可实现对硅片在后续设备出问题时的预先储备，本技术具有自动化程度高的优点，省时省力，大大降低了工人的劳动强度，节约了企业的人力投入。附图说明图1为本技术的总装图。图2为本技术中进片组件的结构示意图。图3为本技术中输送组件的结构示意图。图4为本技术中翻片组件的结构示意图。图5为本技术中翻转片的结构示意图。图6为本技术中后部皮带输送组件的结构示意图。图7为图6在A处的放大结构示意图。图8为图6的局部结构示意图。图9为本技术中储片组件的结构示意图。图10为图9在B处的放大结构示意图。其中：1、机架组件；2、进片组件；201、第一伺服电机；202、第一皮带传动机构；203、安装座；204、第一外皮带轮；205、第一传动带；206、第一侧板；207、传送轮；208、第一轴承座；209、第一转轴；210、第二侧板；211、第一被动转轴；212、承托板；213、顶升板；214、活塞杆；215、气缸；216、气缸固定板；3、输送组件；301、第二伺服电机；302、第二皮带传动机构；303、输送轮组；3031、第三侧板；3032、输送轮；3033、第二被动转轴；3034、隔板；3035、第二外皮带轮；3036、第二传动带；3037、第一联轴器；304、传动端；4、翻片组件；401、第三伺服电机；402、减速机；403、第二联轴器；404、翻转片；4041、转轴安装孔；4042、翻片开口槽；405、隔座；406、轴套；407、第二转轴；408、第二轴承座；5、后部皮带输送组件；501、第四伺服电机；502、主同步带轮；503、同步带；504、副同步带轮；505、第一皮带轮；506、输送皮带；507、第二皮带轮；508、第三皮带轮；509、第四皮带轮；510、第五皮带轮；511、皮带轮安装板；512、输送转轴；513、第三联轴器；6、储片组件；601、储片盒；602、耳部；603、固定座；604、圆柱头螺钉；605、安装座组件。具体实施方式下面说明本技术的具体实施方式。如图1所示，用于硅片生产线的翻片机结构包括机架组件1，于机架组件1内部分别安装安装一对呈左右对称布置的进片组件2、一对呈左右对称布置的输送组件3、一对呈左右对称布置的翻片组件4、一对呈左右对称布置的后部皮带输送组件5及一对呈左右对称布置的储片组件6，进片组件2和输送组件3用于硅片进入生产线并持续输送，翻片组件4用于实现多片硅片翻转，后部皮带输送组件5用于将翻转后的硅片输送至下一工位，储片组件6用于储存硅片；如图2所示，进片组件2的具体结构如下：包括第一伺服电机201，第一伺服电机201的输出端通过第一皮带传动机构202与第一转轴209连接，第一转轴209装配在安装座203上，在第一转轴209上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于硅片生产线的翻片机结构，包括机架组件，其特征在于：于所述机架组件内部分别安装一对进片组件(2)、一对输送组件(3)、一对翻片组件(4)、一对后部皮带输送组件(5)及一对储片组件(6)，所述进片组件(2)和输送组件(3)用于硅片进入生产线并持续输送，所述翻片组件(4)用于实现多片硅片翻转，所述后部皮带输送组件(5)用于将翻转后的硅片输送至下一工位，所述储片组件(6)用于储存硅片；/n所述进片组件(2)的具体结构如下：/n包括第一伺服电机(201)，所述第一伺服电机(201)的输出端通过第一皮带传动机构(202)与第一转轴(209)连接，在所述第一转轴(209)上分别配合第一侧板(206)、第二侧板(210)及用于稳定第一转轴(209)的多个第一轴承座(208)；在相邻第一侧板(206)和第二侧板(210)之间还设置多根第一被动转轴(211)，在所述第一被动转轴(211)和第一转轴(209)上分别设置多组传送轮(207)，在第一被动转轴(211)和第一转轴(209)伸出第一侧板(206)及第二侧板(210)的两端外圈均设置第一外皮带轮(204)，相邻的第一外皮带轮(204)之间通过第一传动带(205)传动；相邻第一侧板(206)和第二侧板(210)之间固接承托板(212)，各承托板(212)的底部与多个顶升机构连接；/n所述输送组件(3)的具体结构如下：/n包括第二伺服电机(301)，所述第二伺服电机(301)的输出端通过第二皮带传动机构(302)连接传动轴的传动端(304)；还包括多组并列布置的输送轮组(303)，相邻输送轮组(303)之间通过第一联轴器(3037)联动，靠近第二伺服电机(301)处的输送轮组(303)与传动轴的另一端连接；所述翻片组件(4)的具体结构如下：/n包括第三伺服电机(401)，所述第三伺服电机(401)的输出端与减速机(402)的输入端连接，所述减速机(402)的输出端通过第二联轴器(403)连接第二转轴(407)的一端，所述第二转轴(407)的另一端与第二轴承座(408)连接；在所述第二转轴(407)上还配合多个隔座(405)，在各隔座(405)之间设置一对翻转片(404)，各翻转片(404)均通过轴套(406)与第二转轴(407)配合；/n所述后部皮带输送组件(5)的具体结构如下：/n包括第四伺服电机(501)，所述第四伺服电机(501)的输出端与主同步带轮(502)连接，所述主同步带轮(502)通过同步带(503)连接副同步带轮(504)；还包括多个输送机构，每个输送机构均包括一对皮带轮安装板(511)，相邻皮带轮安装板(511)之间贯穿安装输送转轴(512)，相邻输送转轴(512)之间通过第三联轴器(513)连接，在各块皮带轮安装板(511)的外侧还依次转接第一皮带轮(505)、第二皮带轮(507)、第三皮带轮(508)、第四皮带轮(509)及第五皮带轮(510)，所述第一皮带轮(505)、第二皮带轮(507)、第三皮带轮(508)、第四皮带轮(509)及第五皮带轮(510)之间绕接输送皮带(506)；于靠近第四伺服电机(501)输送机构中输送转轴(512)的一端与副同步带轮(504)及第二皮带轮(507)配合。/n...

【技术特征摘要】
1.用于硅片生产线的翻片机结构，包括机架组件，其特征在于：于所述机架组件内部分别安装一对进片组件(2)、一对输送组件(3)、一对翻片组件(4)、一对后部皮带输送组件(5)及一对储片组件(6)，所述进片组件(2)和输送组件(3)用于硅片进入生产线并持续输送，所述翻片组件(4)用于实现多片硅片翻转，所述后部皮带输送组件(5)用于将翻转后的硅片输送至下一工位，所述储片组件(6)用于储存硅片；
所述进片组件(2)的具体结构如下：
包括第一伺服电机(201)，所述第一伺服电机(201)的输出端通过第一皮带传动机构(202)与第一转轴(209)连接，在所述第一转轴(209)上分别配合第一侧板(206)、第二侧板(210)及用于稳定第一转轴(209)的多个第一轴承座(208)；在相邻第一侧板(206)和第二侧板(210)之间还设置多根第一被动转轴(211)，在所述第一被动转轴(211)和第一转轴(209)上分别设置多组传送轮(207)，在第一被动转轴(211)和第一转轴(209)伸出第一侧板(206)及第二侧板(210)的两端外圈均设置第一外皮带轮(204)，相邻的第一外皮带轮(204)之间通过第一传动带(205)传动；相邻第一侧板(206)和第二侧板(210)之间固接承托板(212)，各承托板(212)的底部与多个顶升机构连接；
所述输送组件(3)的具体结构如下：
包括第二伺服电机(301)，所述第二伺服电机(301)的输出端通过第二皮带传动机构(302)连接传动轴的传动端(304)；还包括多组并列布置的输送轮组(303)，相邻输送轮组(303)之间通过第一联轴器(3037)联动，靠近第二伺服电机(301)处的输送轮组(303)与传动轴的另一端连接；所述翻片组件(4)的具体结构如下：
包括第三伺服电机(401)，所述第三伺服电机(401)的输出端与减速机(402)的输入端连接，所述减速机(402)的输出端通过第二联轴器(403)连接第二转轴(407)的一端，所述第二转轴(407)的另一端与第二轴承座(408)连接；在所述第二转轴(407)上还配合多个隔座(405)，在各隔座(405)之间设置一对翻转片(404)，各翻转片(404)均通过轴套(406)与第二转轴(407)配合；
所述后部皮带输送组件(5)的具体结构如下：
包括第四伺服电机(501)，所述第四伺服电机(50...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖凯，杨中明，杨美娟，
申请(专利权)人：江苏森标科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32