下载用于硅片生产线的翻片机结构的技术资料

文档序号:26196623

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本实用新型涉及用于硅片生产线的翻片机结构,包括机架组件,于所述机架组件内部分别安装安装一对进片组件、一对输送组件、一对翻片组件、一对后部皮带输送组件及一对储片组件,所述进片组件和输送组件用于硅片进入生产线并持续输送,所述翻片组件用于实现多片...
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