透明导电体的加工方法、加工装置及透明导电体和触控屏制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种透明导电体的加工方法，提供透明导电体，所述透明导电体包括透明基板和设于所述透明基板上的感光导电层，对所述透明导电体进行曝光处理，对经曝光处理后的透明导电体依次进行如下步骤，S1：将透明导电体完全浸泡于药水中；S2：对浸泡后的透明导电体进行清洗；S3：对清洗后的透明导电体进行吹干；通过药水浸泡的方式对透明导电体进行表面处理，降低了透明导电体制备过程中其表面过度显影或者过度蚀刻而导致显影或蚀刻不均匀的风险，利于产品良率的提升。

【技术实现步骤摘要】
透明导电体的加工方法、加工装置及透明导电体和触控屏
本专利技术涉及触控屏
，尤其涉及透明导电体的加工方法、加工装置及透明导电体和触控屏。
技术介绍
为使显示面板具备触控功能，需要使其搭配触控屏。而小尺寸触控屏所使用的核心传感器材料一般为氧化铟锡(ITO)，大尺寸触控屏所使用的核心传感器材料一般为金属网格铜或者纳米银线，氧化铟锡(ITO)因其同时具备导电和透明的优势成为显示触控传感材料的首选。随着显示面板往大尺寸化和柔性化方向发展，ITO因其不可卷柔和相对较高的电阻不适用此领域，镂空的金属网格触控屏传感器应运而生。无论是ITO制程还是精密的金属网格制程，都是采用黄光工艺，其工艺流程大致分为压干膜、曝光、显影、蚀刻、脱膜。其中，显影、蚀刻、脱膜为制程环节，三者采用的技术流程都为喷淋药水、喷淋水洗、风刀吹干。在喷淋药水的环节，为了喷淋均匀，喷盘采用筛动模式，喷嘴间隔均匀。但即使如此，最终产品幅面的显影和蚀刻的效果依然不均匀，因为首先在筛动喷淋的过程中，产品随着滚轮前进，有部分幅面可以受到直接喷淋，剩下的幅面则是药水流动过去进而显影蚀刻，效果自然本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种透明导电体的加工方法，提供透明导电体，所述透明导电体包括透明基板和设于所述透明基板上的感光导电层，对所述透明导电体进行曝光处理，其特征在于：对经曝光处理后的透明导电体依次进行如下步骤：/nS1：将透明导电体完全浸泡于药水中；/nS2：对浸泡后的透明导电体进行清洗；/nS3：对清洗后的透明导电体进行吹干。/n

【技术特征摘要】
1.一种透明导电体的加工方法，提供透明导电体，所述透明导电体包括透明基板和设于所述透明基板上的感光导电层，对所述透明导电体进行曝光处理，其特征在于：对经曝光处理后的透明导电体依次进行如下步骤：
S1：将透明导电体完全浸泡于药水中；
S2：对浸泡后的透明导电体进行清洗；
S3：对清洗后的透明导电体进行吹干。


2.根据权利要求1所述的透明导电体的加工方法，其特征在于，步骤S1依次包括如下步骤：
S11：将透明导电体置于药水正上方；
S12：将透明导电体沿垂直于药水液面的方向浸入药水；
S13：将透明导电体从药水中取出。


3.根据权利要求2所述的透明导电体的加工方法，其特征在于，步骤S11中的透明导电体垂直于药水液面放置，在步骤S13之前对透明导电体进行翻转。


4.根据权利要求2所述的透明导电体的加工方法，其特征在于，步骤S11中的透明导电体平行于药水液面放置。


5.根据权利要求2...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏伟，叶宗和，王海峰，
申请(专利权)人：淄博松柏电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37