一种在线更换动态气体锁的装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种在线更换动态气体锁的装置，包括：缓冲腔，用于在与真空腔室内部隔绝下，对由真空腔室外部接入的新动态气体锁进行暂存，并在与真空腔室外部隔绝下，对由真空腔室内部送入的旧动态气体锁进行暂存；输送及装卸机构，用于通过缓冲腔，接入新动态气体锁，并送至真空腔室内部的安装点上进行安装，以及将安装点上拆卸的旧动态气体锁通过缓冲腔送出至真空腔室外部；密封机构，用于在输送及装卸机构的一端部进入缓冲腔后，对输送及装卸机构与缓冲腔之间的配合面进行封闭。本发明专利技术能够以不停机的方法在线更换动态气体锁，从而大大节省了时间，增加了光刻机的出货量。

【技术实现步骤摘要】
一种在线更换动态气体锁的装置
本专利技术涉及集成电路及光刻
，特别是涉及一种能够在线更换动态气体锁的装置。
技术介绍
请参考图1，图1是一种光刻真空腔室结构示意图。如图1所示，在例如13.5nm极紫外光刻中，硅片13放置在下方真空腔室10内的硅片平台12上进行光刻。光线通过透镜系统的镜头组，按照一定的传播方向投射到硅片13上。透镜系统设于上方真空腔室11内。光刻中使用的极紫外光刻胶(光阻)，在曝光过程中会产生大量的酸性气体14(放气)，并排放到真空腔室10、11中。酸性气体14会污染镜头，尤其是污染靠近硅片13的镜头。当前，解决酸性气体14污染的方案之一，是在靠近硅片13的镜头与硅片13之间增加一张薄膜——动态气体锁15，以尽可能阻挡硅片13上光刻胶产生的酸性气体14扩散到透镜系统一侧，如图1-图2所示。然而，随着曝光时间的增长，动态气体锁15上也会因为酸性气体14长期累积而出现脏污。如果不及时更换动态气体锁15，会影响曝光光线的强度，从而影响曝光的结果。但是，常用的更换动态气体锁薄膜的方法，需要停机，并打本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种在线更换动态气体锁的装置，其特征在于，所述装置设于光刻真空腔室内，包括：/n缓冲腔，用于在与所述真空腔室内部隔绝下，对由所述真空腔室外部接入的新动态气体锁进行暂存，并在与所述真空腔室外部隔绝下，对由所述真空腔室内部送入的旧动态气体锁进行暂存；/n输送及装卸机构，用于通过所述缓冲腔，接入所述新动态气体锁，并送至所述真空腔室内部的安装点上进行安装，以及将所述安装点上拆卸的所述旧动态气体锁通过所述缓冲腔送出至所述真空腔室外部；/n密封机构，用于在所述输送及装卸机构的一端部进入所述缓冲腔后，对所述输送及装卸机构与所述缓冲腔之间的配合面进行封闭。/n

【技术特征摘要】
1.一种在线更换动态气体锁的装置，其特征在于，所述装置设于光刻真空腔室内，包括：
缓冲腔，用于在与所述真空腔室内部隔绝下，对由所述真空腔室外部接入的新动态气体锁进行暂存，并在与所述真空腔室外部隔绝下，对由所述真空腔室内部送入的旧动态气体锁进行暂存；
输送及装卸机构，用于通过所述缓冲腔，接入所述新动态气体锁，并送至所述真空腔室内部的安装点上进行安装，以及将所述安装点上拆卸的所述旧动态气体锁通过所述缓冲腔送出至所述真空腔室外部；
密封机构，用于在所述输送及装卸机构的一端部进入所述缓冲腔后，对所述输送及装卸机构与所述缓冲腔之间的配合面进行封闭。


2.根据权利要求1所述的在线更换动态气体锁的装置，其特征在于，所述输送及装卸机构设有一旋转平台，所述旋转平台介于所述安装点和所述缓冲腔之间，所述旋转平台设有两个端部，每个所述端部上设有一个机械手，交替用于拆卸及送出所述旧动态气体锁，或者接入及安装所述新动态气体锁，所述旋转平台通过绕第一旋转中心水平旋转，使两个所述端部上的所述机械手在所述安装点和所述缓冲腔之间交替转换位置；所述缓冲腔设有传送窗口和大气连接门，所述大气连接门连接所述真空腔室的外部，所述传送窗口连接所述真空腔室的内部，所述缓冲腔通过与所述旋转平台的每个所述端部之间产生相对移动，使两个所述机械手分别通过所述传送窗口和所述大气连接门进出所述缓冲腔。


3.根据权利要求2所述的在线更换动态气体锁的装置，其特征在于，所述旋转平台为一直臂梁结构，第一旋转中心设于所述直臂梁的中部，两个所述机械手分别设于所述直臂梁的两端上，并通过所述直臂梁作180度来回旋转，在所述安装点和所述缓冲腔之间交替转换位置。


4.根据权利要求2或3所述的在线更换动态气体锁的装置，其特征在于，所述机械手与所述直臂...

【专利技术属性】
技术研发人员：李艳丽，伍强，顾峥，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31