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本发明公开了一种在线更换动态气体锁的装置，包括：缓冲腔，用于在与真空腔室内部隔绝下，对由真空腔室外部接入的新动态气体锁进行暂存，并在与真空腔室外部隔绝下，对由真空腔室内部送入的旧动态气体锁进行暂存；输送及装卸机构，用于通过缓冲腔，接入新动态...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

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