MEMS加速度计的批量夹持工装及测试系统、测试方法技术方案

本发明专利技术提供了一种MEMS加速度计的批量夹持工装及测试系统、测试方法，该批量夹持工装包括导杆、压板、载板、面板、立板和底板；面板安装在立板和底板组成的固定基座上，面板包括支撑板和内嵌在支撑板上表面的电木针板，电木针板上设置多组探针；载板通过弹性元件安装在面板上方，载板设置多个加速度计安装槽孔，每个安装槽孔对应一组探针；压板沿面板边缘设置的导杆上下移动，压板下表面设置多组压棒，压板通过压紧卡扣与面板咬合固定。该批量夹持装置安装在分度头上，与测试仪配合共同实现加速度计批量测试，满足工程应用。

【技术实现步骤摘要】
MEMS加速度计的批量夹持工装及测试系统、测试方法
本专利技术涉及MEMS加速度计
，尤其涉及一种MEMS加速度计的批量夹持工装及测试系统、测试方法。
技术介绍
MEMS加速度计就是使用MEMS技术制造的加速度计。由于采用了微机电系统技术，使得其尺寸大大缩小。MEMS加速度计具有体积小、重量轻、能耗低等优点，适于应用于岩土测斜领域，测量各种岩土边坡和地基的位移，对监测对象的稳定性进行分析和预报。目前，MEMS加速度计的标定测试主要以单件、手动为主，标定测试时间较长，生产效率较低，这种测试方式不利于MEMS加速度计的批量生产。部分批量测试系统的夹持固定装置多为单件单独固定，多个夹持固定装置共同进行测试，安装加速度计步骤较为繁琐，不利于批量生产，且重复性差，降低测试精度。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术不足，提供了一种MEMS加速度计的批量夹持工装及测试系统、测试方法，能够解决现有技术中MEMS加速度计批量生产中的批量测试和批量安装问题，提高生产效率。本专利技术采用的技术解决方案如下：...

【技术保护点】
1.一种MEMS加速度计的批量夹持工装，其特征在于，包括导杆、压板、载板、面板、立板和底板；所述面板安装在立板和底板组成的固定基座上，面板包括支撑板和内嵌在支撑板上表面的电木针板，所述电木针板上设置多组探针；所述载板通过弹性元件安装在面板上方，且载板设置有多个加速度计安装槽孔，每个安装槽孔对应电木针板上的一组探针；所述压板沿面板边缘设置的至少两根导杆上下移动，压板下表面设置与加速度计安装槽孔位置相对应的多组压棒，压板通过压紧卡扣与面板咬合固定。/n

【技术特征摘要】
1.一种MEMS加速度计的批量夹持工装，其特征在于，包括导杆、压板、载板、面板、立板和底板；所述面板安装在立板和底板组成的固定基座上，面板包括支撑板和内嵌在支撑板上表面的电木针板，所述电木针板上设置多组探针；所述载板通过弹性元件安装在面板上方，且载板设置有多个加速度计安装槽孔，每个安装槽孔对应电木针板上的一组探针；所述压板沿面板边缘设置的至少两根导杆上下移动，压板下表面设置与加速度计安装槽孔位置相对应的多组压棒，压板通过压紧卡扣与面板咬合固定。


2.根据权利要求1所述的MEMS加速度计的批量夹持工装，其特征在于，所述压板下表面还设置有至少1支载板压棒，所述至少两根导杆上端固定在导杆固定板上，所述压板通过上提卡扣固定在导杆固定板，所述安装槽孔内部设置至少2个定位柱。


3.根据权利要求1所述的MEMS加速度计的批量夹持工装，其特征在于，所述面板支撑板上开设镂空，所述探针嵌入电木针板并从支撑板上镂空位置穿出。


4.根据权利要求1所述的MEMS加速度计的批量夹持工装，其特征在于，所述立板包括前立板、后立板，所述后立板中心设置连接轴安装孔；所述前立板留有测试电缆接口、电源指示灯，所述探针的后端信号线连接到前立板的测试电缆接口上；所述立板上对称开设多个减重孔。


5.根据权利要求1所述的MEMS加速度计的批量夹持工装，其特征在于，所述导杆、导杆固定板、压板、载板、支撑板、立板、底板均采用铝合金材料；所述压棒采用尼龙塑料材料；所述探针采用圆锥头型；所述弹性元件为伸缩弹簧柱。


6.根据权利要求1所述的MEMS加速度计的批量夹持工装，其特征在于，所述每组探针包括四根探针，所述每组压棒包括至少3支压棒。


7.一种采用权利要求1～6中任一项所述MEMS加速度计批量夹持工装的测试系统，其特征在于，包括批量夹持工装和测试仪，所述批量夹持工装固定基座通过连接轴安装在分度头上，所述批量夹持工装与测试仪通过测试电缆连接；
所述测试仪包括工控一体机、A/D采集模块、电源模块、继电器，...

【专利技术属性】
技术研发人员：周卫涛，刘建平，李福川，闫红兵，
申请(专利权)人：航天科工惯性技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11