一种MEMS电容式加速度计批量自动化测试工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种MEMS电容式加速度计批量自动化测试工装，包括分度结构，所述分度结构包括分度装置和第一轴承并且所述分度装置套接于所述第一轴承，所述分度装置与所述第一轴承固定连接；传动轴和温箱，所述分度结构位于所述温箱的一侧并且固定于所述温箱，所述分度结构套接于所述传动轴，所述传动轴依次贯穿于所述分度结构和所述温箱。本实用新型专利技术公开的一种MEMS电容式加速度计批量自动化测试工装，其在温箱的一侧增加稳固结构，将支点增加到2个支点，使其能承载更大的力，从而实现批量生产，保证数据采集卡通道全部用到，实现最大生产量生产。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS电容式加速度计批量自动化测试工装
本技术属于加速度计测试
，具体涉及一种MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem，微机电系统)电容式加速度计批量自动化测试工装。
技术介绍
电容式加速度计为差分电容结构，其内部有一个可动极板及多个固定电极，可动极板与质量块相连，多个固定电极与之相对，在可动极板与固定电极间形成差分电容对，当向电容式加速度计施加外部加速度时，其内部质量块发生位移，并引起加速度计内部的差分电容对发生变化，从而使得差分电容的差动电容值发生变化。利用这一特性，对封装好的加速度计成品电路施加机械冲击或振动，提供一个加速度信号,由接口检测电路将电容变化量转换为电压、电流、频率等易于测量的电信号，再由数据采集卡等设备与接口检测电路进行通信，对接口检测电路的输出信号进行采集，就可以测量出电容式加速度计的各项参数。但由于需要实现批量化自动测试，需要合适的工装保证承载力和测试精准度，故需要改进原工装来解决这个问题。一般加速度计自动测试系统由精密分度装置、变温箱、数据采集与处理系统和水平位置与基础本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS电容式加速度计批量自动化测试工装，用于对电容式加速度计进行批量自动化测试，其特征在于，包括：/n分度结构，所述分度结构包括分度装置和第一轴承并且所述分度装置套接于所述第一轴承，所述分度装置与所述第一轴承固定连接；/n传动轴和温箱，所述分度结构位于所述温箱的一侧并且固定于所述温箱，所述分度结构套接于所述传动轴，所述传动轴依次贯穿于所述分度结构和所述温箱；/n稳固结构和安装板，所述稳固结构位于所述温箱远离所述分度结构的一侧并且与所述温箱固定连接，所述稳固结构包括轴承套和第二轴承，所述轴承套套接于所述第二轴承并且所述轴承套用于将所述第二轴承紧贴于所述温箱，所述传动轴依次贯穿于所述分度...

【技术特征摘要】
1.一种MEMS电容式加速度计批量自动化测试工装，用于对电容式加速度计进行批量自动化测试，其特征在于，包括：
分度结构，所述分度结构包括分度装置和第一轴承并且所述分度装置套接于所述第一轴承，所述分度装置与所述第一轴承固定连接；
传动轴和温箱，所述分度结构位于所述温箱的一侧并且固定于所述温箱，所述分度结构套接于所述传动轴，所述传动轴依次贯穿于所述分度结构和所述温箱；
稳固结构和安装板，所述稳固结构位于所述温箱远离所述分度结构的一侧并且与所述温箱固定连接，所述稳固结构包括轴承套和第二轴承，所述轴承套套接于所述第二轴承并且所述轴承套用于将所述第二轴承紧贴于所述温箱，所述传动轴依次贯穿于所述分度结构和所述温箱后继续贯穿于所述稳固结构然后与所述安装板固定连接，所述安装板上放置电容式加速度计。


2.根据权利要求1所述的一种MEMS电容...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈旭东，李政华，张婷婷，
申请(专利权)人：嘉兴恩湃电子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33