下载一种MEMS电容式加速度计批量自动化测试工装的技术资料

文档序号:26103608

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本实用新型公开了一种MEMS电容式加速度计批量自动化测试工装,包括分度结构,所述分度结构包括分度装置和第一轴承并且所述分度装置套接于所述第一轴承,所述分度装置与所述第一轴承固定连接;传动轴和温箱,所述分度结构位于所述温箱的一侧并且固定于所述...
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