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MEMS加速度计的批量夹持工装及测试系统、测试方法技术方案
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下载MEMS加速度计的批量夹持工装及测试系统、测试方法的技术资料
文档序号:26168327
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本发明提供了一种MEMS加速度计的批量夹持工装及测试系统、测试方法,该批量夹持工装包括导杆、压板、载板、面板、立板和底板;面板安装在立板和底板组成的固定基座上,面板包括支撑板和内嵌在支撑板上表面的电木针板,电木针板上设置多组探针;载板通过弹...
该专利属于航天科工惯性技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过航天科工惯性技术有限公司授权不得商用。
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