【技术实现步骤摘要】
线圈芯片及其制备方法、检测芯片和滑油传感器
本申请属于线圈芯片
，尤其涉及一种基于微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem，MEMS)的线圈芯片、用于检测滑油金属屑末的检测芯片、滑油传感器的线圈芯片的制备方法。
技术介绍
在发动机、轴承、齿轮等的运转过程中，为降低磨损损耗，往往需要配置滑油系统。经验表明，设备磨损部件(如发动机、滚动轴承、齿轮等)的损伤程度与滑油系统里的金属屑末之间具有强烈的相关性。因此，为了评估设备的磨损情况，常常会在滑油系统中加装滑油传感器对设备的整个磨损过程进行监测。传统的电感式滑油传感器如图1所示，激励线圈101和感应线圈层102均设置于滑油管道103上，激励线圈101和感应线圈层102外设置有屏蔽罩104。两个激励线圈101对金属屑末进行磁化，金属屑末流经感应线圈层102的时候，电磁感应产生涡流，最终使磁通量发生变化，从而实现对金属屑末的检测。但是，传统的电感式滑油传感器只能检测几百微米大小的金属屑末，对100um及其以下的金属屑末无能为力，也即检测灵敏...
【技术保护点】
1.一种基于微机电系统的线圈芯片，其特征在于，包括具有相对设置的第一表面和第二表面的基底，所述基底上设有至少两个的感应区域；所述基底于每个感应区域内的第一表面和第二表面上分别对应设有第一绝缘层和第二绝缘层，第一绝缘层于远离第二绝缘层的表面上设有至少一层的感应线圈层，所述感应线圈层的内圈位置设有贯穿整个线圈芯片的供滑油通过的检测通孔，使得每个感应区域内形成一感应线圈结构单元。/n
【技术特征摘要】
1.一种基于微机电系统的线圈芯片，其特征在于，包括具有相对设置的第一表面和第二表面的基底，所述基底上设有至少两个的感应区域；所述基底于每个感应区域内的第一表面和第二表面上分别对应设有第一绝缘层和第二绝缘层，第一绝缘层于远离第二绝缘层的表面上设有至少一层的感应线圈层，所述感应线圈层的内圈位置设有贯穿整个线圈芯片的供滑油通过的检测通孔，使得每个感应区域内形成一感应线圈结构单元。
2.根据权利要求1所述的基于微机电系统的线圈芯片，其特征在于，每个感应区域内的感应线圈层于远离第二绝缘层的表面上设有至少一层的第三绝缘层，至少一层的感应线圈层与至少一层的第三绝缘层依次交替设置，每层所述第三绝缘层围绕检测通孔设置且覆盖对应层的感应线圈层。
3.根据权利要求2所述的基于微机电系统的线圈芯片，其特征在于，所述感应线圈层和第三绝缘层分别为至少两层，每层第三绝缘层上分别设有用于露出对应层的感应线圈层的连接孔，相邻的感应线圈层的尾部经由所述连接孔电连接。
4.根据权利要求2或3所述的基于微机电系统的线圈芯片，其特征在于，每个感应区域内的位于最顶层的第三绝缘层于远离第二绝缘层的表面上依次设有引线圈层和第四绝缘层，所述第四绝缘层上设有引线孔，所述引线圈层用于将位于第一层的感应线圈层的头部和位于最顶层的感应线圈层的尾部经由所述引线孔引出。
5.根据权利要求1所述的基于微机电系统的线圈芯片，其特征在于，所述基底为本征硅件、石英件或玻璃件；或者，
所述第一绝缘层和第二绝缘层分别为二氧化硅层或氮化硅层；或者，
所述感应线圈层为钛制感应线圈层、金制感应线圈层、铂制感应线圈层、铝制感应线圈层或铜制感应线圈层。
6.根据权利要求1所述的基于微机电系统的线圈芯片，其特征在于，所述第一绝缘层和所述第二绝缘层的厚度分别为0.1um-10um；或者，
所述感应线圈层的厚度为0.01nm-10000nm。
7.根据权利要求1-3和5-6任意一项所述的基于微机电系统的线圈芯片，其特征在于，至少两个的感应区域内设置的至少两个的检测通孔阵列分布。
8.一种用于检测滑油金属屑末的检测芯片，其特征在于，包括基底和至少两个的导电材料的线圈，所述基底上设有至少两个的供滑油通过的检测通孔，至少两个的线圈与至少两个的检测通孔分别一一对应设置，且线圈设于检测通孔的孔周沿。
9.根据权利要求8所述的用于检测滑油金属屑末的检测芯片，其特征在于，还包括用于将...
【专利技术属性】
技术研发人员：聂泳忠，吴桂珊，
申请(专利权)人：西人马联合测控泉州科技有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35
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