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本申请实施例提供了一种线圈芯片及其制备方法、检测芯片和滑油传感器。该基于微机电系统的线圈芯片，包括具有相对设置的第一表面和第二表面的基底，基底上设有至少两个的感应区域；基底于每个感应区域内的第一表面和第二表面上分别对应设有第一绝缘层和第二绝...
该专利属于西人马联合测控(泉州)科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西人马联合测控(泉州)科技有限公司授权不得商用。

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