流体质量流量控制器的标定方法及标定装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种流体质量流量控制器的标定方法及标定装置，其中，流体质量流量控制器的标定方法包括：向流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的功能单元反馈的与各参数值对应的第二参数的参数值，其中，第二参数与第一参数相关联；根据第一参数的参数值和对应的第二参数的参数值，确定第一参数和第二参数的对应关系；根据对应关系对相应的功能单元进行标定，以实现对流体质量流量控制器的标定。本发明专利技术提供的流体质量流量控制器的标定方法及标定装置，能够提高标定的一致性和可靠性，并提高标定效率，从而提高流体质量流量控制器的质量。

【技术实现步骤摘要】
流体质量流量控制器的标定方法及标定装置
本专利技术涉及流体控制装置
，具体地，涉及一种流体质量流量控制器的标定方法及标定装置。
技术介绍
数字式气体质量流量控制器(DigitalMassFlowController，简称DMFC)，广泛应用于光伏、燃料电池及半导体等领域，其能够通过数字信号实时监控流体流量，并对流体流量进行实时调节。而数字式气体质量流量控制器的精度以及精度的可靠性，又是影响其所应用的领域中的工艺的准确性及稳定性的关键因素。因此，决定数字式气体质量流量控制器的精度及精度的可靠性的标定方法就变得尤为重要。现有的标定方法，主要是依靠人为控制相关设备来完成数字式质量流量控制器的标定和检验，其耗时相对较长，且标定过程过多地依靠人工采集瞬时数据，而受到人工的主观因素影响，人工采集的瞬时数据参差不齐，导致标定出的产品质量参差不齐，一致性和可靠性相对较差，使得在客户端应用具有很高的质量风险。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种流体质量流量控制器的标定方法及标定装置，其能本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流体质量流量控制器的标定方法，其特征在于，包括：/n向所述流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的所述功能单元反馈的与各所述参数值对应的第二参数的参数值，其中，所述第二参数与所述第一参数相关联；/n根据所述第一参数的参数值和对应的所述第二参数的参数值，确定所述第一参数和所述第二参数的对应关系；/n根据所述对应关系对相应的所述功能单元进行标定，以实现对所述流体质量流量控制器的标定。/n

【技术特征摘要】
1.一种流体质量流量控制器的标定方法，其特征在于，包括：
向所述流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的所述功能单元反馈的与各所述参数值对应的第二参数的参数值，其中，所述第二参数与所述第一参数相关联；
根据所述第一参数的参数值和对应的所述第二参数的参数值，确定所述第一参数和所述第二参数的对应关系；
根据所述对应关系对相应的所述功能单元进行标定，以实现对所述流体质量流量控制器的标定。


2.根据权利要求1所述的流体质量流量控制器的标定方法，其特征在于，所述功能单元包括模数转换单元；
所述向所述流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的所述功能单元反馈的与各所述参数值对应的第二参数的参数值，包括：
向所述模数转换单元发送模拟电压值，并获取所述模数转换单元转换反馈的与所述模拟电压值对应的数字量；
所述根据所述第一参数的参数值和对应的所述第二参数的参数值，确定所述第一参数和所述第二参数的对应关系，包括：
根据所述模拟电压值、所述数字量和关于二者的第一预设关系式进行拟合运算，获得第一拟合函数，所述第一拟合函数表示所述模拟电压值和所述数字量的对应关系；
所述根据所述对应关系对相应的所述功能单元进行标定，以实现对所述流体质量流量控制器的标定，包括：
将所述第一拟合函数写入所述模数转换单元，以实现通过输入所述模拟电压值来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定。


3.根据权利要求1所述的流体质量流量控制器的标定方法，其特征在于，所述功能单元包括数模转换单元；
所述向所述流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的所述功能单元反馈的与各所述参数值对应的第二参数的参数值，包括：
向所述数模转换单元发送数字量，并获取所述数模转换单元反馈的与所述数字量对应的模拟电压值；
所述根据所述第一参数的参数值和对应的所述第二参数的参数值，确定所述第一参数和所述第二参数的对应关系，包括：
根据所述数字量、所述模拟电压值和关于二者的第二预设关系式进行拟合运算，获得第二拟合函数，所述第二拟合函数表示所述数字量和所述模拟电压值的对应关系；
所述根据所述对应关系对相应的所述功能单元进行标定，以实现对所述流体质量流量控制器的标定，包括：
将所述第二拟合函数写入所述数模转换单元，以实现通过输入所述数字量来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定。


4.根据权利要求1所述的流体质量流量控制器的标定方法，其特征在于，所述功能单元包括流量控制单元；
所述向所述流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的所述功能单元反馈的与各所述参数值对应的第二参数的参数值，包括：
向所述流量控制单元发送开度值，并获取所述流量控制单元反馈的与所述开度值对应的流量输出值；
所述根据所述第一参数的参数值和对应的所述第二参数的参数值，确定所述第一参数和所述第二参数的对应关系，包括：
根据所述开度值、所述流量输出值和关于二者的第三预设关系式进行拟合运算，获得第三拟合函数，所述第三拟合函数表示所述流量输出值和所述开度值的对应关系；
所述根据所述对应关系对相应的所述功能单元进行标定，以实现对所述流体质量流量控制器的标定，包括：
将所述第三拟合函数写入所述流量控制单元，以实现通过输入所述开度值来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定。


5.根据权利要求1所述的流体质量流量控制器的标定方法，其特征在于，所述功能单元包括流量控制单元；
所述向所述流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的所述功能单元反馈的与各所述参数值对应的第二参数的参数值，包括：
向所述流量控制单元发送开度值，并获取所述开度值对应的流量输出值与所述流量控制单元的满量程流量值的比值以及实际响应时长；
所述根据所述第一参数的参数值和对应的所述第二参数的参数值，确定所述第一参数和所述第二参数的对应关系，包括：
计算所述开度值和所述比值的差值的绝对值，获得实际过冲值，并确定所述实际过冲值和预设的与所述开度值对应的标准过冲值的大小关系，以及所述实际响应时长和预设的与所述开度值对应的标准响应时长的大小关系；
所述根据所述对应关系对相应的所述功能单元进行标定，以实现对所述流体质量流量控制器的标定，包括：
若所述实际过冲值小于或等于所述标准过冲值，且所述实际响应时长小于或等于所述标准响应时长，则标定所述流量控制单元的响应时长合格，若所述实际过冲值大于所述标准过冲值，或所述实际响应时长大于所述标准响应时长，则对所述流量控制单元进行调节，直至所述实际过冲值小于或等于所述标准过冲值，且所述实际响应时长小于或等于所述标准响应时长。


6.根据权利要求4所述的流体质量流量控制器的标定方法，其特征在于，在所述将所述第三拟合函数写入所述流量控制单元，以实现通过输入所述开度值来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定之后，还包括：
向所述流量控制单元发送至少一个校验开...

【专利技术属性】
技术研发人员：张海洋，邹义涛，叶建，
申请(专利权)人：北京七星华创流量计有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11