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本发明提供一种流体质量流量控制器的标定方法及标定装置，其中，流体质量流量控制器的标定方法包括：向流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的功能单元反馈的与各参数值对应的第二参数的参数值，其中，第二参数与第一参数相关联...
该专利属于北京七星华创流量计有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创流量计有限公司授权不得商用。

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