二氧化碳激光器谐振腔泄漏检测仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种二氧化碳激光器谐振腔泄漏检测仪，其主要包括检测气路部分和测控电路部分，所述的检测气路部分由样气抽取及处理气路、样气测量气路和样气回流气路组成；所述测控电路部分主要包括核心控制电路、微量水检测电路、微量氧检测电路和键盘输入及显示电路；微量水和微量氧检测电路包括水传感器和氧传感器及信号处理电路，水传感器将进入微量水检测气室中的样气中水的含量值转换为电信号，氧传感器将进入微量氧检测气室中的样气中氧的含量值转换为电信号，再经过信号处理电路进行放大和滤波处理后输入到核心控制电路。本实用新型专利技术能在线实时检测二氧化碳激光器谐振腔内部冷却管路泄漏和外界空气泄漏的情况。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及用于检测工业用大功率二氧化碳(co2)气体激光器谐振腔内部冷却水管泄漏和外部密封空气泄漏的装置，属于激光器 及气体检测领域。
技术介绍
目前工业用大功率C02激光器的组成部分包括激光谐振腔、激励电源、工作气体循环系统、冷却系统和测控系统等。其中激光谐振腔是激光器的关键，它相当于计算机的CPU，提供了激光的产生和放大。激光谐振腔的正常工作与否直接影响到激光器工作的稳定性。激光谐 振腔中工作物质是激光与物质相互作用的主体，通过工作物质的受激辐射出射激光，C02激光器的工作物质为C02、He和N2的混合气体(气 体纯度要达到99.99%以上)，谐振腔中工作物质的密度、温度、气压、 组分、杂质气体含量等均影响到激光的正常输出，而且对这些参数的 变化非常敏感。在大功率C02激光器中，都要求谐振腔的泄漏要小于 0.1hP/min，激光器才能正常工作。因此，激光器谐振腔都是处于严格 密闭状态。大功率横流C02激光器的工作气体沿环形方向流动，工作体积非 常大，谐振腔与外界的密封非常难；其次该激光器的激励电极暴露在 工作气体中，其冷却管路也在工作气体中，而且其他零部件，如波纹 管、反射镜支本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种二氧化碳激光器谐振腔泄漏检测仪，其特征是：主要包括检测气路部分和测控电路部分；　所述的检测气路部分由样气抽取及处理气路、样气测量气路和样气回流气路组成；　样气抽取及处理气路包括进气口、降温盘管、调节阀和吸气泵，进气口为二路，管路依次接进气口、切换阀门、降温盘管、调节阀和吸气泵，吸气泵输出样气进入样气测量气路；　样气测量气路由四通接头、进气阀、微量氧检测气室、微量水检测气室、流量计和压力表组成，样气通过四通接头分成三条支路：支路一是微量氧检测气路，管路依次连接进气阀、微量氧检测气室、流量计；支路二是微量水检测气路，管路依次连接进气阀、微量水检测气室、流量计；支路三是样气旁路，旁路内接有流量计...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：毛兴，
申请(专利权)人：宝山钢铁股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]