气体搅拌装置、铸锭炉及其使用方法制造方法及图纸

技术编号:26162924 阅读:39 留言:0更新日期:2020-10-31 12:55
本发明专利技术公开了一种气体搅拌装置、铸锭炉及其使用方法,所述气体搅拌装置包括升降单元、进气管、密封单元和喷头;所述进气管与所述升降单元相连,由所述升降单元驱动进行升降运动;所述进气管上还设有进气口;所述密封单元与所述进气管相连,且用于连接铸锭炉,以实现铸锭炉内气体与外界隔离;所述喷头与所述进气管的出口相连,所述喷头的出气喷嘴的延伸方向与进气管的延伸方向之间存在夹角,喷头喷射出的气流将推动铸锭炉内的硅液流动。本发明专利技术通过形成硅液的流动,有利于实现将硅液中的杂质上移到硅锭表面和侧部,提高产品质量。

【技术实现步骤摘要】
气体搅拌装置、铸锭炉及其使用方法
本专利技术具体涉及一种气体搅拌装置、铸锭炉及其使用方法,适用于光伏行业铸锭生产设备或其它真空熔炼炉的生产。
技术介绍
在光伏行业的生产过程中,晶硅铸锭炉是硅片生产的一种重要生产设备。晶硅铸锭生产过程中不可避免地会引入一些杂质,如:氧、碳、氮化硅等,这些杂质会在硅液中形成沉淀、复合体等,成为少数载流子的复合中心,影响硅片的少子寿命,从而降低晶硅太阳电池转换效率。另外,由于现有晶硅铸锭炉设备中没有搅拌装置,硅液在熔化后只能依靠热场温度梯度对硅液产生的温差分布来驱动硅液有少量流动,这种流动相对硅液总量来说是非常有限,使硅液中的杂质无法漂移到上表面或硅锭的边部而生长在晶体中间位置,势必会对晶体成品率造成一定影响。
技术实现思路
针对上述问题,本专利技术提出一种气体搅拌装置、铸锭炉及其使用方法,通过形成硅液的流动,有利于实现将硅液中的杂质上移到硅锭表面和侧部,提高产品质量。为了实现上述技术目的,达到上述技术效果,本专利技术通过以下技术方案实现:第一方面,本专利技术一种气体搅拌装置,包括本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体搅拌装置,其特征在于,包括:/n升降单元;/n进气管,与所述升降单元相连,由所述升降单元驱动进行升降运动;所述进气管上还设有进气口;/n密封单元,与所述进气管相连,且用于连接铸锭炉,以实现铸锭炉内气体与外界隔离;/n喷头,与所述进气管的出口相连,所述喷头的出气喷嘴的延伸方向与进气管的延伸方向之间存在夹角,喷头喷射出的气流将推动铸锭炉内的硅液流动。/n

【技术特征摘要】
1.一种气体搅拌装置,其特征在于,包括:
升降单元;
进气管,与所述升降单元相连,由所述升降单元驱动进行升降运动;所述进气管上还设有进气口;
密封单元,与所述进气管相连,且用于连接铸锭炉,以实现铸锭炉内气体与外界隔离;
喷头,与所述进气管的出口相连,所述喷头的出气喷嘴的延伸方向与进气管的延伸方向之间存在夹角,喷头喷射出的气流将推动铸锭炉内的硅液流动。


2.根据权利要求1所述的一种气体搅拌装置,其特征在于:所述出气喷嘴的内腔的直径沿着出气喷嘴的延伸方向逐渐变小,用于增加气流的流速。


3.根据权利要求1所述的一种气体搅拌装置,其特征在于:所述密封单元为密封圈或真空波纹管。


4.根据权利要求1所述的一种气体搅拌装置,其特征在于:所述进气管由不锈钢、氧化铝、碳化硅或石英玻璃制成。


5.一种铸锭炉,包括铸锭炉本体,所述铸锭炉本体包括炉体、盖体、隔热笼、石墨导管、加热器和坩埚;所述盖体覆盖在所述炉体的开口处,所述盖体上设有缺口;所述隔热笼设于炉体内;所述石墨导管的一端所述盖体处的缺口相连通,另一端与所述隔热笼相连通;所述加热器和坩埚设于隔热笼内;所述坩埚上设有缺口;其特征在于:还包括气体搅拌装置,包括:
升降单元,与所述炉体相连;
进气管,其一端穿过所述石墨导管后经坩埚上的缺口进入坩埚内,另一端与所述升降单元相连,由所述升降单元驱动在炉体内做升降运动;所述进气管上还设有进气口;...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈湘伟胡动力张华利游达张祥
申请(专利权)人:江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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