【技术实现步骤摘要】
一种高效多功能半导体晶片清洗装置
本技术属于半导体材料
，具体来说，特别涉及一种高效多功能半导体晶片清洗装置。
技术介绍
半导体晶片在制造过程中需要一些有机物和无机物参与完成，另外，由于工艺总是在净化室中由人的参与进行，所以半导体晶片不可避免的被各种杂质污染，根据污染物的来源、性质等，大致可分为颗粒、有机物、金属离子和氧化物四大类。在对半导体晶片进行清洗的过程中，需要针对不同的污染物选择不同的清洗剂，以便有效的清洗。中国专利CN201821656375.3，提出了一种半导体晶片清洗装置，包括箱体、两个摇臂和多个叶片，四个清洗篮、两个摇臂和多个叶片均设置在箱体内部，箱体上端分别设置有两条侧边角钢和两条中心角钢，四个清洗篮上端均通过侧边角钢和中心角钢并列挂置在箱体内，清洗篮内部可拆卸设置有多条分隔绳，两个摇臂并列间隔设置在箱体内清洗篮下部，摇臂设置有多层连接杆，每个连接杆上连接有一个叶片。该方案对晶片的清洗仅使用了一种清洗剂，不能有效的清洗半导体晶片。针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
【技术保护点】
1.一种高效多功能半导体晶片清洗装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上表面固定连接有液压缸(3)和箱体(2)，所述液压缸(3)的伸缩杆固定连接有活动杆件(4)，所述活动杆件(4)固定连接有升降板(5)，所述升降板(5)的上表面远离所述活动杆件(4)的一端固定连接有电机一(6)，所述电机一(6)的旋转轴贯穿所述升降板(5)固定连接有顶板(7)，所述顶板(7)固定连接有连接壳(8)，所述连接壳(8)固定连接有底板(12)，所述顶板(7)的下表面中部固定连接有电机二(9)，所述电机二(9)转动连接有若干旋转轴(13)，所述旋转轴(13)固定连接有放置架(14)。/n
【技术特征摘要】
1.一种高效多功能半导体晶片清洗装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上表面固定连接有液压缸(3)和箱体(2)，所述液压缸(3)的伸缩杆固定连接有活动杆件(4)，所述活动杆件(4)固定连接有升降板(5)，所述升降板(5)的上表面远离所述活动杆件(4)的一端固定连接有电机一(6)，所述电机一(6)的旋转轴贯穿所述升降板(5)固定连接有顶板(7)，所述顶板(7)固定连接有连接壳(8)，所述连接壳(8)固定连接有底板(12)，所述顶板(7)的下表面中部固定连接有电机二(9)，所述电机二(9)转动连接有若干旋转轴(13)，所述旋转轴(13)固定连接有放置架(14)。
2.根据权利要求1所述的一种高效多功能半导体晶片清洗装置，其特征在于，所述箱体(2)的上表面开设有若...
【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：成都富源华能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51
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