一种用于太阳能电池硅片清洗机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于太阳能电池硅片清洗机，包括机壳设于机壳内的清洗槽，以及驱动机构，所述机壳的底部固定若干根支撑杆，机壳的底板上开设通孔，机壳的顶部开设供清洗槽上下活动的缺口；所述驱动机构安装于机壳上、并用于驱动清洗槽上下活动，所述清洗槽，包括槽体，安装在槽体内壁的超声振子以及槽体内的用于夹持硅片的夹持机构，所述夹持机构有若干个阵列排布的夹持单元组成，夹持单元包括导轨、两块夹持板，导轨上开设导向槽，导轨的两端分别设有弹性夹紧组件，两块夹持板对称设于导轨上，夹持板的底端通过与所述导向槽配合的滑块滑动连接于导轨。本实用新型专利技术结构简单，方便移动槽体，以便于取放硅片，提高清洗效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于太阳能电池硅片清洗机
本技术涉及硅片清洗
，尤其涉及一种用于太阳能电池硅片清洗机。
技术介绍
目前，半导体器件生产中硅片须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致各种缺陷，硅片清洗通常采用硅片清洗机进行湿法清洗，现有的硅片清洗机结构复杂，不方便移动清洗机内部的清洗槽，导致取放硅片不够方便，降低了硅片清洗的效率，为此提出一种用于太阳能电池硅片清洗机，以解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于太阳能电池硅片清洗机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于太阳能电池硅片清洗机，包括机壳设于机壳内的清洗槽，以及驱动机构，所述机壳的底部固定若干根支撑杆，机壳的底板上开设通孔，机壳的顶部开设供清洗槽上下活动的缺口；所述驱动机构安装于机壳上、并用于驱动清洗槽上下活动；所述清洗槽，包括槽体，安装在槽体内壁的超声振子以及槽体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于太阳能电池硅片清洗机，包括机壳设于机壳内的清洗槽，以及驱动机构，其特征在于：所述机壳的底部固定若干根支撑杆，机壳的底板上开设通孔，机壳的顶部开设供清洗槽上下活动的缺口；所述驱动机构安装于机壳上、并用于驱动清洗槽上下活动；/n所述清洗槽，包括槽体，安装在槽体内壁的超声振子以及槽体内的用于夹持硅片的夹持机构；/n所述夹持机构有若干个阵列排布的夹持单元组成，夹持单元包括导轨、两块夹持板，导轨上开设导向槽，导轨的两端分别设有弹性夹紧组件；/n两块夹持板对称设于导轨上，夹持板的底端通过与所述导向槽配合的滑块滑动连接于导轨，两个弹性夹紧组件分别用于驱动同侧的夹持板向导轨的中部靠近，两块所述夹持...

【技术特征摘要】
1.一种用于太阳能电池硅片清洗机，包括机壳设于机壳内的清洗槽，以及驱动机构，其特征在于：所述机壳的底部固定若干根支撑杆，机壳的底板上开设通孔，机壳的顶部开设供清洗槽上下活动的缺口；所述驱动机构安装于机壳上、并用于驱动清洗槽上下活动；
所述清洗槽，包括槽体，安装在槽体内壁的超声振子以及槽体内的用于夹持硅片的夹持机构；
所述夹持机构有若干个阵列排布的夹持单元组成，夹持单元包括导轨、两块夹持板，导轨上开设导向槽，导轨的两端分别设有弹性夹紧组件；
两块夹持板对称设于导轨上，夹持板的底端通过与所述导向槽配合的滑块滑动连接于导轨，两个弹性夹紧组件分别用于驱动同侧的夹持板向导轨的中部靠近，两块所述夹持板相靠近的侧面开设有用于夹持硅片的夹持槽。


2.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池硅片清洗机，其特征在于：所述驱动机构包括固定在槽体相对两外侧壁的凸台、安装在机壳顶面的电机，以及设于机壳内的丝杆，其中，凸台上开设...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈兆民，饶海峰，沈传进，孙小龙，许天红，张峰，
申请(专利权)人：金寨嘉悦新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34