离子源引出电极系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种离子源引出电极系统，包括等离子体电极和引出电极组，所述引出电机组在束流前进方向上依次包括第一地电极、抑制电极和第二地电极，其中，第一地电极和第二地电极接地，所述抑制电极接负压，所述等离子体电极接正压，所述等离子体电极和第一地电极之间的电场为引出电场，所述引出电场用于控制等离子体引出界面的曲率和形状。引入另一个地电极作为屏蔽地电极，用于电场屏蔽隔离等离子体电极和抑制电极，稳定引出电场和电场透镜电场，控制等离子体引出界面曲率和形状，从而来控制束流的初始形状，由此得到理想的束流形态。

【技术实现步骤摘要】
离子源引出电极系统
本技术涉及一种引出电极系统。
技术介绍
随着离子注入机的发展，产能的不断提升，以及更多领域(半导体集成电路、单晶光伏电池、和面板显示等)的广泛应用，离子源和束流引出系统指标也被提出了新要求，在增加束流电流的同时，束流的宽幅幅度、束流密度均匀性、束流发散角的可控性(最小像差条件)、离子源运行稳定性等已成为当前的需要攻克的难题。传统大束流引出系统基本以三电极系统为主，通常称之为等离子体电极、抑制电极、和地电极。抑制电极的主要功能如期名字一样具有抑制来自束流下游的电子，保护处于高电势的离子源部件免受电子轰击损坏，抑制电极的另外一个功能是通过调节等离子体电极和抑制电极间的电压差，实现电场透镜效果，对束流实现引出(离子加速过程)和束流发散角度的控制。在束流密度相对较低的情况下，离子束流所产生的空间电场扰动相对于电极间已形成的电场来说基本可以或略，束流也处于一个相对平衡的亚稳态状态，但随着束流密度的增加，离子束流所产生的空间电场和电极场一起形成了一个复杂的综合电场，这时束流的光学特性(聚焦、发散、像差)就完全取决于这个综合电场，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子源引出电极系统，其特征在于，其包括等离子体电极和引出电极组，所述引出电极组在束流前进方向上依次包括第一地电极、抑制电极和第二地电极，其中，第一地电极和第二地电极接地，所述抑制电极接负压，所述等离子体电极接正压，所述等离子体电极和第一地电极之间的电场为引出电场，所述引出电场用于控制等离子体引出界面的曲率和形状。/n

【技术特征摘要】
1.一种离子源引出电极系统，其特征在于，其包括等离子体电极和引出电极组，所述引出电极组在束流前进方向上依次包括第一地电极、抑制电极和第二地电极，其中，第一地电极和第二地电极接地，所述抑制电极接负压，所述等离子体电极接正压，所述等离子体电极和第一地电极之间的电场为引出电场，所述引出电场用于控制等离子体引出界面的曲率和形状。


2.如权利要求1所述的离子源引出电极系统，其特征在于，通过调节第一地电极和所述等离子体电极之间的间距来调节所述引出电场。


3.如权利要求1所述的离子源引出电极系统，其特征在于，第一地电极用于电场屏蔽所述等离子体电极以稳定所述引出电场。


4.如权利要求1所述的离子源引出电极系统，其特征在于，第一地电极和所述抑制电极之间的电场为电场透镜电场，第一地电极用于电场屏蔽所述抑制电极以稳定所述电场透镜电场。


5.如权利要求4所述的离子源引出电极系统，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪俊华，陈炯，
申请(专利权)人：上海临港凯世通半导体有限公司，上海凯世通半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31