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本实用新型公开了一种离子源引出电极系统，包括等离子体电极和引出电极组，所述引出电机组在束流前进方向上依次包括第一地电极、抑制电极和第二地电极，其中，第一地电极和第二地电极接地，所述抑制电极接负压，所述等离子体电极接正压，所述等离子体电极和第...该专利属于上海临港凯世通半导体有限公司;上海凯世通半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海临港凯世通半导体有限公司;上海凯世通半导体股份有限公司授权不得商用。