一种自动上下料的半导体测试设备制造技术

本申请涉及一种自动上下料的半导体测试设备，属于半导体测试设备技术领域，包括：测试箱，其至少设有一个顶部开口的测试腔，测试腔内设有测试板，测试腔的顶部设有上盖；上下料机械手，其包括机械手及驱动机械手沿设定方向运动的驱动机构，机械手位于测试箱的上方。本申请的半导体测试设备在半导体芯片测试过程中，利用上下料机械手实现半导体芯片的自动安装和拆卸，实现了半导体芯片自动化测试。上下料机械手集成在测试箱上，结构紧凑，占地面积小、节省空间；上下料机械手通过驱动机构驱动机械手沿设定方向运动，能够精确抓取和安装半导体芯片。同时在对半导体芯片进行半导体测试时无需插拔测试板，提高了测试板的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种自动上下料的半导体测试设备
本申请涉及半导体测试设备
，特别涉及一种自动上下料的半导体测试设备。
技术介绍
为了达到半导体芯片的合格率，几乎所有半导体芯片在出厂前都要进行老化测试。老化测试是通过测试板对待测半导体芯片提供必要的系统信号，模拟半导体芯片的工作状态，在高温的情况或其它情况下加速半导体芯片的电气故障，在一段时间内获取半导体芯片的故障率，让半导体芯片在给定的负荷状态下工作而使其缺陷在较短的时间内出现，从而得到半导体芯片在生命周期大致的故障率，避免在使用早期发生故障。相关技术中，老化测试设备大多采用侧面开门方式，在老化测试设备内设有若干层测试板，若干层测试板沿老化测试设备的高度方向进行排列。在每次老化测试时需要打开侧门拔出测试板，将待测试的半导体芯片安装在测试板上，然后将测试板和半导体芯片一同插入老化测试设备内关闭侧门进行老化测试；老化测试完成后打开侧门将测试板和半导体芯片从老化测试设备内拔出，进行下一批次的半导体芯片的老化测试，以此重复老化测试。但是，侧面开门方式的老化测试设备，在每次老化测试时需要插入和拔出测试板，由于测试板的老化测试接口与安装于老化测试设备壁面连接器使用金手指或高密连接器对插，频繁的插拔测试板的老化测试接口容易造成损伤，导致接触不良或出现破损，降低了测试板的使用寿命，影响半导体芯片测试结果。同时在老化测试前需要人工将待测试的半导体芯片安装在测试板上，老化测试完成后需人工将已测试的半导体芯片分拣到设定区域。依靠人工上下料进行老化测试的自动化程度低，效率低下，不能实现半导体芯片无人化老化测试。
技术实现思路
本申请实施例提供一种自动上下料的半导体测试设备，以解决相关技术中依靠人工上下料进行半导体测试的自动化程度低，效率低下，不能实现半导体芯片无人化测试的问题。本申请实施例提供了一种自动上下料的半导体测试设备，包括：测试箱，其至少设有一个顶部开口的测试腔，所述测试腔内设有测试板，所述测试腔的顶部设有上盖；上下料机械手，其包括机械手及驱动所述机械手沿设定方向运动的驱动机构，所述机械手位于所述测试箱的上方。在一些实施例中：所述测试箱内设有竖向保温层，所述竖向保温层将所述测试箱分隔成两个测试腔，两个所述测试腔的顶部至少设有一个所述上盖，两个所述测试腔内均设有呈水平设置的所述测试板。在一些实施例中：所述测试箱的两个所述测试腔的顶部均设有所述上盖。在一些实施例中：所述驱动机构包括X轴驱动机构、Y轴驱动机构和Z轴驱动机构，所述X轴驱动机构位于所述测试箱的侧部，所述Y轴驱动机构连接在所述X轴驱动机构上，所述Z轴驱动机构连接在所述Y轴驱动机构上，所述机械手连接在所述Z轴驱动机构上。在一些实施例中：所述机械手包括吸盘安装板和吸盘，所述吸盘固定连接在所述吸盘安装板的底部，所述吸盘安装板与所述驱动机构连接。在一些实施例中：所述测试箱的两侧分别设有第一箱式支座和第二箱式支座；所述第一箱式支座内设有待测物料举升机构，所述第二箱式支座内设有两组已测物料举升机构。在一些实施例中：所述待测物料举升机构包括升降机构、物料托盘支架和物料托盘，所述升降机构固定安装在所述第一箱式支座内，所述物料托盘支架与升降机构连接；所述物料托盘设有多个，多个所述物料托盘堆叠在所述物料托盘支架上，所述已测物料举升机构与待测物料举升机构的结构相同。在一些实施例中：所述升降机构包括基座和Z向直线模组，所述Z向直线模组的底部与基座固定连接，所述Z向直线模组驱动所述物料托盘支架升降运动。在一些实施例中：所述测试箱的两端分别设有机箱，所述机箱内设有向所述测试腔内注入热源或冷源的机组，所述机箱上设有控制机组作业的按钮和显示机组工作状态的触摸屏。在一些实施例中：所述测试箱设有多个，多个所述测试箱首尾连接呈一字形排列。本申请提供的技术方案带来的有益效果包括：本申请实施例提供了一种自动上下料的半导体测试设备，由于本申请的半导体测试设备设置了测试箱，该测试箱至少设有一个顶部开口的测试腔，测试腔内设有测试板，测试腔的顶部设有上盖；上下料机械手，该上下料机械手包括机械手及驱动机械手沿设定方向运动的驱动机构，机械手位于测试箱的上方。因此，本申请的半导体测试设备的设有上下料机械手，在对半导体芯片进行测试时，打开上盖通过上下料机械手将待测试的半导体芯片安装在测试板上，然后关闭上盖进行测试即可；当测试完成后，打开上盖通过上下料机械手将测试完成的半导体芯片从测试板上取下即可。本申请的上下料机械手集成在测试箱上，结构紧凑，占地面积小、节省空间；上下料机械手通过三维方向运动的驱动机构驱动机械手沿设定方向运动，能够精确抓取和安装半导体芯片。同时在对半导体芯片进行测试时无需插拔测试板，提高了测试板的使用寿命。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本申请实施例的结构示意图；图2为本申请实施例不含测试箱的结构示意图；图3与图4为本申请实施例设有一个上盖的测试箱的结构示意图；图5为本申请实施例设有两个上盖的测试箱的结构示意图；图6为本申请实施例的待测物料举升机构的结构示意图。附图标记：1、测试箱；11、测试腔；12、上盖；13、测试板；14、机箱；2、上下料机械手；21、X轴驱动机构；22、Y轴驱动机构；23、Z轴驱动机构；24、机械手；3、第一箱式支座；4、第二箱式支座；5、待测物料举升机构；6、已测物料举升机构；51、升降机构；52、物料托盘支架；53、物料托盘。具体实施方式为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。本申请实施例提供了一种自动上下料的半导体测试设备，其能解决相关技术中依靠人工上下料进行测试的自动化程度低，效率低下，不能实现半导体芯片无人化测试的问题。本申请如下实施例中均以半导体老化测试的应用为例，对本申请的技术方案进行详细阐述。但本申请的实施方式不限于此，任何利用本申请专利技术构思的半导体测试设备方案均在本申请的保护范围之内。参见图1至图4所示，本申请实施例提供了一种自动上下料的半导体测试设备，包括：测试箱1，在测试箱1中至少设有一个顶部开口的测试腔11，且测试腔11内设有水平设置的测试板13，测试腔11的顶部设有上盖12，上盖12与测试腔11组成封闭腔室，半导体芯片在封闭腔室内老化测试。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动上下料的半导体测试设备，其特征在于，包括：/n测试箱（1），其至少设有一个顶部开口的测试腔（11），所述测试腔（11）内设有测试板（13），所述测试腔（11）的顶部设有上盖（12）；/n上下料机械手（2），其包括机械手（24）及驱动所述机械手（24）沿设定方向运动的驱动机构，所述机械手（24）位于所述测试箱（1）的上方。/n

【技术特征摘要】
1.一种自动上下料的半导体测试设备，其特征在于，包括：
测试箱（1），其至少设有一个顶部开口的测试腔（11），所述测试腔（11）内设有测试板（13），所述测试腔（11）的顶部设有上盖（12）；
上下料机械手（2），其包括机械手（24）及驱动所述机械手（24）沿设定方向运动的驱动机构，所述机械手（24）位于所述测试箱（1）的上方。


2.如权利要求1所述的一种自动上下料的半导体测试设备，其特征在于：
所述测试箱（1）内设有竖向保温层，所述竖向保温层将所述测试箱（1）分隔成两个测试腔（11），两个所述测试腔的顶部至少设有一个所述上盖（12），两个所述测试腔内均设有呈水平设置的所述测试板（13）。


3.如权利要求2所述的一种自动上下料的半导体测试设备，其特征在于：
所述测试箱（1）的两个所述测试腔的顶部均设有所述上盖（12）。


4.如权利要求1所述的一种自动上下料的半导体测试设备，其特征在于：
所述驱动机构包括X轴驱动机构（21）、Y轴驱动机构（22）和Z轴驱动机构（23），所述X轴驱动机构（21）位于所述测试箱（1）的侧部，所述Y轴驱动机构（22）连接在所述X轴驱动机构（21）上，所述Z轴驱动机构（23）连接在所述Y轴驱动机构（22）上，所述机械手（24）连接在所述Z轴驱动机构（23）上。


5.如权利要求1所述的一种自动上下料的半导体测试设备，其特征在于：
所述机械手（24）包括吸盘安装板和吸盘，所述吸盘固定连接在所述吸盘安装板的底部，所述吸盘安装板与所述驱动机...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹锐，杜建，裴敬，邓标华，
申请(专利权)人：武汉精鸿电子技术有限公司，武汉精测电子集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42