一种上开门式老化测试柜制造技术

技术编号:26103936 阅读:23 留言:0更新日期:2020-10-28 18:05
本申请涉及一种上开门式老化测试柜,其包括柜体、一老化测试板和至少一个测试核心板,柜体具有互相独立的第一温区和第二温区,老化测试板水平地设于第一温区内,测试核心板设于第二温区内,老化测试板与测试核心板信号连接,柜体顶部设有上开门,上开门用于启闭第一温区以对老化测试板进行上下料。采用上开门设计,一方面,可以使老化测试板水平固定,能保证待测芯片半导体与老化测试板上测试座的可靠接触连接,保证测试信号质量,提升了测试信号完整性;另一方面,不需要拔出老化测试板情况下就可以装载或取出测试芯片半导体,避免了老化测试板上连接器插拔寿命受限的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种上开门式老化测试柜
本申请涉及半导体集成电路高低温老化测试
,特别涉及一种上开门式老化测试柜。
技术介绍
半导体存储器有一定的失效概率,其失效概率与使用次数之间的关系符合浴缸曲线的特性,开始使用时存储器的失效概率高,当经过一定使用次数后失效概率大幅降低,直到接近或达到其使用寿命后,存储器的失效概率又会升高。至今无任何存储器制造商敢忽略半导体存储器的失效问题,一般通过老化测试(TestDuringburn-in,TDBI)来加速存储器失效概率的出现,直接让其进入产品稳定期来解决该问题。芯片半导体老化测试的总体方案是向被测芯片半导体供给电源信号和测试信号,在高低温或常温下让被测芯片半导体连续不间断地工作设定的时间,此过程称为老化(burn-in),由此来加速半导体存储器的失效,筛选出良品。由于芯片半导体的种类很多,应用广泛,量大、性能较高且工作温度范围广,因此需要有一套容量灵活、可扩展性好、宽温度范围、功能丰富、架构可靠性和性价比均高的老化测试系统才能满足实际应用。相关技术方案一般采用侧开门设计,以进行芯片半导体的上料或下料,由于老化测试板上设置的用来连接老化测试板与测试核心板的连接器的插拔寿命有限,一般为200~300次,若采用这种侧开门方式,在进行上下料的时候,插入或者拔出老化测试板时,都需要与连接器进行对接或者断开,使得连接器很快达到插拔寿命,从而大大缩短了连接器的使用寿命,使得测试成本上升。
技术实现思路
本申请实施例提供一种上开门式老化测试柜,以解决相关技术中采用侧开门设计,在进行上下料的时候,插入或者拔出老化测试板时,都需要与连接器进行对接或者断开,使得连接器很快达到插拔寿命,从而大大缩短了连接器的使用寿命的问题。本申请实施例提供了一种上开门式老化测试柜,其包括:柜体,所述柜体具有互相独立的第一温区和第二温区;一老化测试板,其水平地设于所述第一温区内;至少一个测试核心板,其设于所述第二温区内;以及,所述老化测试板与所述测试核心板信号连接,且所述柜体顶部设有上开门,所述上开门用于启闭所述第一温区,以对老化测试板进行上下料。一些实施例中,所述上开门转动连接于所述柜体上;或,所述上开门水平滑设于所述柜体上。一些实施例中,所述第一温区内形成有环形风道;所述环形风道内设有风机;所述老化测试板位于所述环形风道内。一些实施例中,所述第一温区内设有U型隔板,所述U型隔板将所述第一温区分隔成位于所述U型隔板内侧的第一腔,以及位于所述U型隔板与所述第一温区壁面之间的第二腔;所述U型隔板相对的壁面上分别开设有进风口和出风口,所述进风口和出风口之间的区域为循环风行进区域;所述循环风行进区域与第二腔共同构成所述环形风道,所述老化测试板位于所述循环风行进区域内。一些实施例中,所述环形风道竖直设置,所述循环风行进区域位于第二腔上方;或所述环形风道水平设置。一些实施例中,所述环形风道的拐弯处设有导流板。一些实施例中,所述第一温区和所述第二温区上下布置,且所述第一温区位于所述第二温区上方;或,所述第一温区和所述第二温区左右布置。一些实施例中,当上下布置时,所述老化测试板与所述测试核心板通过背板或柔性连接器信号连接;当左右布置时,所述测试核心板与一竖直设置的背板相连,所述背板连接有直通板,所述直通板与所述老化测试板相连;或,所述老化测试板与所述测试核心板通过柔性连接器信号连接。一些实施例中,当采用背板时,所述背板与老化测试板相连接的一端位于所述老化测试板中间位置;当采用背板和直通板连接时,所述测试核心板水平设置,且所述老化测试板与所述测试核心板分别位于所述背板两侧;当采用柔性连接器时,所述柔性连接器与老化测试板相连接的一端位于所述老化测试板中间位置。一些实施例中,所述柜体内设有保温隔板,所述保温隔板将所述柜体的内腔分隔成第一温区和第二温区。本申请提供的技术方案带来的有益效果包括:本申请实施例提供了一种上开门式老化测试柜,采用上开门设计,一方面,可以使老化测试板水平设置,能保证待测芯片半导体与老化测试板上测试座的可靠接触连接,保证测试信号质量,提升了测试信号完整性;另一方面,由于采用上开门设计,不需要拔出老化测试板情况下就可以装载或取出测试芯片半导体,避免了老化测试板上连接器插拔寿命受限的问题。本申请实施例提供的老化测试柜,设置有两个互相独立的温区,老化测试板与测试核心板可分别放置在两个独立的温区工作,由于测试核心板并未置于老化测试板所在温区,故可以避免测试核心板受到不必要的高低温度冲击,降低高低温下测试核心板上的器件失稳的可能性,保证测试信号质量,提升了测试信号完整性。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本申请实施例提供的上开门式老化测试柜结构示意图(第一温区与第二温区上下布置);图2为本申请实施例提供的上开门式老化测试柜内部结构示意图(第一温区与第二温区上下布置,U型隔板未示出);图3为本申请实施例提供的上开门式老化测试柜剖面示意图(第一温区与第二温区上下布置);图4为本申请实施例提供的上开门式老化测试柜结构示意图(第一温区与第二温区左右布置,上开门开启时);图5为本申请实施例提供的上开门式老化测试柜结构示意图(第一温区与第二温区左右布置,上开门关闭时);图6为本申请实施例提供的老化测试板与测试核心板通过背板和直通板连接时的示意图;图7为本申请实施例提供的上开门式老化测试柜剖面示意图(第一温区与第二温区左右布置);图8为本申请实施例提供的环形风道竖直设置时的主视图;图9为本申请实施例提供的环形风道水平设置时的俯视图;图10为本申请实施例提供的密封结构示意图。图中:1、柜体;10、上开门;11、容置区;2、老化测试板;3、测试核心板;4、环形风道;40、风机;41、导流板;42、格栅;5、U型隔板;50、第一腔;51、第二腔;52、进风口;53、出风口;54、循环风行进区域;6、背板;600、直通板;60、密封结构;61、固定板;62、条状通道;7、保温隔板;8、第一机架;9、第二机架。具体实施方式为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本申请的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。本申请实施例提供了一种上开门式老化测试柜,其能解决相关技术中采用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种上开门式老化测试柜,其特征在于,其包括:/n柜体(1),所述柜体(1)具有互相独立的第一温区和第二温区;/n一老化测试板(2),其水平地设于所述第一温区内;/n至少一个测试核心板(3),其设于所述第二温区内;以及,/n所述老化测试板(2)与所述测试核心板(3)信号连接,且所述柜体(1)顶部设有上开门(10),所述上开门(10)用于启闭所述第一温区,以对老化测试板(2)进行上下料。/n

【技术特征摘要】
1.一种上开门式老化测试柜,其特征在于,其包括:
柜体(1),所述柜体(1)具有互相独立的第一温区和第二温区;
一老化测试板(2),其水平地设于所述第一温区内;
至少一个测试核心板(3),其设于所述第二温区内;以及,
所述老化测试板(2)与所述测试核心板(3)信号连接,且所述柜体(1)顶部设有上开门(10),所述上开门(10)用于启闭所述第一温区,以对老化测试板(2)进行上下料。


2.如权利要求1所述的上开门式老化测试柜,其特征在于:
所述上开门(10)转动连接于所述柜体(1)上;或,
所述上开门(10)水平滑设于所述柜体(1)上。


3.如权利要求1所述的上开门式老化测试柜,其特征在于:
所述第一温区内形成有环形风道(4);
所述环形风道(4)内设有风机(40);
所述老化测试板(2)位于所述环形风道(4)内。


4.如权利要求3所述的上开门式老化测试柜,其特征在于:
所述第一温区内设有U型隔板(5),所述U型隔板(5)将所述第一温区分隔成位于所述U型隔板(5)内侧的第一腔(50),以及位于所述U型隔板(5)与所述第一温区壁面之间的第二腔(51);
所述U型隔板(5)相对的壁面上分别开设有进风口(52)和出风口(53),所述进风口(52)和出风口(53)之间的区域为循环风行进区域(54);
所述循环风行进区域(54)与第二腔(51)共同构成所述环形风道(4),所述老化测试板(2)位于所述循环风行进区域(54)内。


5.如权利要求4所述的上开门式老化测试柜,其特征在于:所述环形风...

【专利技术属性】
技术研发人员:杜建曹锐裴敬邓标华
申请(专利权)人:武汉精鸿电子技术有限公司武汉精测电子集团股份有限公司
类型:新型
国别省市:湖北;42

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