【技术实现步骤摘要】
太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构
本技术属于精密仪器领域，具体为基于太赫兹技术的近场光学仪器
，具体涉及一种太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构。
技术介绍
太赫兹(THz)泛指波长介于30μm-3000μm的电磁波，其具有低辐射、强穿透性、与生物及半导体材料易产生共振这些特殊的光学属性，广泛应用于固体物理及生物学科的材料研究中。由于其微米量级的波长，根据光的衍射极限，远场最佳分辨率不会优于半个波长。为了进一步提高分辨率，科学家们通过借助AFM，利用散射的方法获得了分辨率纳米量级的近场光学图像。在材料科学研究中具有很大的应用潜力。散射式THz近场扫描显微镜目前面临的主要问题是THz源功率较弱，获得的信号信噪比较低。目前市场上只有一家公司生产可获得时域光谱和近场图像的太赫兹扫描近场光学显微镜，但是其产品使用的是全光纤太赫兹时域光谱系统，对激光光源有较高的匹配需求，同时由于其近场结构内空间狭小，无法安装常规AFM设备，因而必须依据近场结构设计AFM扫描平台及探针结构，这使得整套系统必须包含定制的激光光源及A...
【技术保护点】
1.一种太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，适于并且匹配各种型号的原子力显微镜以检测一待测样品，所述太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构包括一90°平面镜、位于一太赫兹脉冲束的输入侧的一指示激光器、一ITO反射薄膜、一垂直平面镜、位于所述太赫兹脉冲束的输出侧的一指示激光器、一ITO反射薄膜、一垂直平面镜，其特征在于，所述太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构还包括：/n一AFM探针，所述AFM探针用于检测置于一AFM样品台的所述待测样品；/n一第一平面镜，所述第一平面镜置于所述90°平面镜的靠近AFM样品台的一侧；/n一抛物面镜，所述抛物面镜被固定设置于行程可调的一三...
【技术特征摘要】
1.一种太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，适于并且匹配各种型号的原子力显微镜以检测一待测样品，所述太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构包括一90°平面镜、位于一太赫兹脉冲束的输入侧的一指示激光器、一ITO反射薄膜、一垂直平面镜、位于所述太赫兹脉冲束的输出侧的一指示激光器、一ITO反射薄膜、一垂直平面镜，其特征在于，所述太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构还包括：
一AFM探针，所述AFM探针用于检测置于一AFM样品台的所述待测样品；
一第一平面镜，所述第一平面镜置于所述90°平面镜的靠近AFM样品台的一侧；
一抛物面镜，所述抛物面镜被固定设置于行程可调的一三维调节架，所述抛物面镜置于所述AFM样品台的斜上方，以使得通过微调所述三维调节架将经所述抛物面镜的所述太赫兹脉冲束聚焦于所述AFM探针。
2.根据权利要求1所述的太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，其特征在于，所述第一平面镜采用与水平面成30°角的平面镜。
3.根据权利要求1所述的太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，其特征在于，位于所述太赫兹脉冲束的所述输入侧和所述输出侧的所述指示激光器、所述ITO反射薄膜和所述垂直平面镜均固定设置于一二维调节架。
4.根据权利要求3所述的太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，其特征在于，所述二维调节架的角度可调。
5.根据权利要求1所述的太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束...
【专利技术属性】
技术研发人员：王文杰，
申请(专利权)人：仪晟科学仪器嘉兴有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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