一种不易变形的链式刻蚀机送料机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种不易变形的链式刻蚀机送料机构，链式刻蚀机包括有刻蚀槽，送料机构安装在刻蚀槽中，送料机构包括有若干依次间隔连接的送料单元，每个送料单元包括有若干辊筒以及位于辊筒两侧的支撑板，支撑板包括有固定在刻蚀槽底面上的底座部分和与底座部分一体连接的挡板部分，辊筒的两端分别可转动的安装在挡板部分，辊筒的一端穿过挡板部分后固定安装有齿轮，齿轮通过驱动机构驱动转动，相邻送料单元之间通过位于送料单元两侧的连接板固定连接。本实用新型专利技术可以有效减少送料机构因变形造成的水平异常情况，相邻两个送料单元之间互相牵连，不易变形，提高硅片刻蚀过程输送的稳定性，提高刻蚀效果。

【技术实现步骤摘要】
一种不易变形的链式刻蚀机送料机构
本技术属于链式刻蚀机
，具体涉及一种不易变形的链式刻蚀机送料机构。
技术介绍
晶硅太阳能电池生产过程包括有制绒-扩散-刻蚀-PECVD镀膜-丝网印刷-测试分选等，刻蚀工序的作用是去掉硅片背面和硅片侧面的PN结，达到正面与背面绝缘的目的，所采用的设备一般是链式刻蚀机。现有的链式刻蚀机虽然是放置在恒温车间中，但是刻蚀槽两端的支架在辊筒转动的动力作用以及刻蚀反应产生的温度变化作用下还是容易变形，导致输送硅片的辊筒水平异常，辊筒之间高度发生错位，进而导致硅片在输送时不稳定，影响硅片的刻蚀效果。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种不易变形的链式刻蚀机送料机构，所述链式刻蚀机包括有刻蚀槽，送料机构安装在刻蚀槽中，所述送料机构包括有若干依次间隔连接的送料单元，每个送料单元包括有若干相互平行的辊筒以及位于辊筒两侧的支撑板，支撑板包括有固定在刻蚀槽底面上的底座部分和与底座部分一体连接的挡板部分，辊筒的两端分别可转动的安装在挡板部分，辊筒的一端穿过挡板部分后固定安装有齿轮，齿轮通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种不易变形的链式刻蚀机送料机构，所述链式刻蚀机包括有刻蚀槽，送料机构安装在刻蚀槽中，其特征在于，所述送料机构包括有若干依次间隔连接的送料单元，每个送料单元包括有若干相互平行的辊筒以及位于辊筒两侧的支撑板，支撑板包括有固定在刻蚀槽底面上的底座部分和与底座部分一体连接的挡板部分，辊筒的两端分别可转动的安装在挡板部分，辊筒的一端穿过挡板部分后固定安装有齿轮，齿轮通过驱动机构驱动转动，相邻送料单元之间通过位于送料单元两侧的连接板固定连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种不易变形的链式刻蚀机送料机构，所述链式刻蚀机包括有刻蚀槽，送料机构安装在刻蚀槽中，其特征在于，所述送料机构包括有若干依次间隔连接的送料单元，每个送料单元包括有若干相互平行的辊筒以及位于辊筒两侧的支撑板，支撑板包括有固定在刻蚀槽底面上的底座部分和与底座部分一体连接的挡板部分，辊筒的两端分别可转动的安装在挡板部分，辊筒的一端穿过挡板部分后固定安装有齿轮，齿轮通过驱动机构驱动转动，相邻送料单元之间通过位于送料单元两侧的连接板固定连接。


2.如权利要求1所述的不易变形的链式刻蚀机送料机构，其特征在于，所述连接板包括有嵌入部和位于嵌入部两侧的安装耳构成，底座部分的两端分别设有卡槽，相邻两个底座部分的卡槽拼接形成供嵌入部嵌入的连接槽，嵌入部嵌入连接槽后安装耳分别与底座部分通过螺栓连接。

【专利技术属性】
技术研发人员：张飞，朱玉龙，田鹏鹏，
申请(专利权)人：浙江鸿禧能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33