输送装置制造方法及图纸

目的在于输送装置中，实现延长导向辊的寿命。输送装置具备：输送机构，输送具有侧缘的基板；导向辊，抵接于所述基板的所述侧缘，定位所述基板，所述导向辊具备多个分割体，在相对所述基板的垂直方向层叠。

【技术实现步骤摘要】
输送装置
本专利技术涉及一种输送装置。
技术介绍
例如，已知在液晶面板的制造工序中，作为输送由玻璃制成的基板的输送装置，限制被输送的基板的蜿蜒并具备用于稳定移动的导向辊的装置。导向辊沿着基板的输送方向多个排列，通过抵接于基板的侧缘同时进行旋转来引导基板。现有技术文件专利文献日本特开2010-42902号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题在所述结构的输送装置中，在导向辊中，基板的侧缘抵接的部分逐渐磨损。随导向辊的磨损进展而槽形成于导向辊的表面，导致阻碍基板的稳定输送，因此，需要交换导向辊。在基板的输送距离长的情况下，由于在输送装置中需要许多导向辊，从而需要准备许多交换用的导向辊且其成本也高。另外，在某些工序中，对导向辊要求带有化学耐性等的性质，而在这种的情况下，导向辊较贵。由此，有实现延长导向辊的寿命并减少成本的需求。本专利技术为基于上述情况而完成的，其目的在于输送装置中，实现延长导向辊的寿命。解决问题的手段(1)本专利技术的一实施方式的输送装置，其特征在于，具备：输送机构，输送具有侧缘的基板；导向辊，抵接于所述基板的所述侧缘同时进行旋转，定位所述基板，所述导向辊具备多个分割体，在相对所述基板的板面的垂直方向层叠。(2)另外，本专利技术的某些实施方式的输送装置，其特征在于，除了所述(1)的结构之外，多个所述分割体具有彼此均等的厚度。(3)另外，本专利技术的某些实施方式的输送装置，其特征在于，除了所述(1)或所述(2)的结构，1个所述导向辊具备的所述分割体的数量是单数，在多个所述分割体中配置于中间的所述分割体抵接于所述基板。专利技术效果根据本专利技术所涉及的输送装置，可以实现延长导向辊的寿命。附图说明图1是实施方式的输送装置的立体图。图2是表示实施方式的导向辊和玻璃基板的立体图。图3是表示调换多个分割体的位置的样子的立体图。图4是表示在调换分割体之后的导向辊和玻璃基板的立体图。具体实施方式<实施方式>根据图1至图4进行说明本专利技术的实施方式。本实施方式的输送装置1具备于处理用于液晶面板等的玻璃基板30的处理装置，输送玻璃基板30。作为处理装置的例子，举例清洗装置、蚀刻装置、显影装置、抗蚀剂剥装置等。如图1所示，通过输送装置1输送的玻璃基板30是矩形的板状，且具有一对的侧缘31A、31B，沿着输送方向延伸。如图1所示，输送装置1具备：多个输送部10(相当于输送机构)，将玻璃基板30向固定的方向输送；多个导向辊20：定位玻璃基板30。如图1所示，每个多个输送部10的各自具有：输送杆构件11，其是由金属制成的圆棒状；输送辊12，其是安装于输送杆构件11的由合成树脂制成。每个多个输送辊12是与输送杆构件11相比，其直径较大的圆板状，以规定的间隔安装于输送杆构件11。输送杆构件11通过驱动装置围绕轴旋转，输送辊12和输送杆构件11一起被旋转。如图2所示，每个多个导向辊20由合成树脂制成且在整体上呈圆柱状，具备三个分割体21A、21B、21C。分割体21A、21B、21C例如优选由PEEK(聚醚醚酮)等具有某程度的硬度的树脂来形成。如图2所示，分割体21A是对玻璃基板30的厚度具有十分的厚度的圆柱状，在中心位置具有杆构件孔22。杆构件孔22是可以将导向杆构件24插入的贯通孔。分割体21A的外周面成为抵接面23。其他分割体21B、21C也是同样的。三个分割体21A、21B、21C是同径且具有均等的厚度。如图2所示，三个分割体21A、21B、21C通过导向杆构件24被插入于杆构件孔22，来能枢转地支撑。三个分割体21A、21B、21C配置于同轴上。导向杆构件24对被输送辊12输送的玻璃基板30，向垂直方向延伸，通过下端配置于玻璃基板30的下方的基台25来支撑。三个分割体21A、21B、21C在相对玻璃基板30的板面的垂直方向层叠。多个导向辊20的半数沿着通过输送辊12输送的玻璃基板30的一方的侧缘31A排列成一列，剩下半数沿着玻璃基板30的另一方的侧缘31B排列成一列。此外，图1图示沿着一方的侧缘31A配置的1个导向辊20以及沿着另一方的侧缘31B配置的1个导向辊20，省略其他的导向辊20。如图1所示，玻璃基板30的下面被输送辊12支撑，一边保持水平的状态，一边跟着输送辊12的旋转，向固定的方向输送。在图1中，从右上往左下的方向是输送的方向。此时，每个导向辊20抵接于玻璃基板30的两个侧缘31A、31B中的任一个，并跟着玻璃基板30的输送旋转。如图1所示，玻璃基板30在抵接于一方的侧缘31A的导向辊20和抵接于另一方的侧缘31B的其他导向辊20之间被夹着输送。由此，抑制玻璃基板30的蜿蜒。另外，抑制玻璃基板30的厚度方向(图1的上下方向)的晃动。如图2所示，每个导向辊20具备的三个分割体21A、21B、21C中，配置于中间的分割体21B的抵接面23抵接于玻璃基板30。分割体21B的抵接面23因和玻璃基本30接触而磨损。如图2所示，磨损进展，则导致抵接面23中在玻璃基板30抵接的部分形成有槽26，对应该槽26的深度在玻璃基板30和抵接面23之间形成有间隔。由此，无法抑制玻璃基板30的蜿蜒或晃动。尤其是，由于近年的用于液晶面板的玻璃基板30越来越薄型化且侧缘31A、31B会成為锋利，从而磨损容易进行。若磨损进行到某种程度，则将中间的分割体21B的位置和未磨损的其他分割体21A、21C中的任一个(在图3中是分割体21C)调换。如图4所示，通过调换，玻璃基板30的侧缘31A、31B中的任一个抵接于重新配置于中间的分割体21C。而且，对调换后的分割体21C也，若磨损进行到某种程度，则和剩下的分割体21A调换。这样，可以将导向辊20的寿命延长到未分割的现有的导向辊的3倍。鉴于以上，根据本实施方式，输送装置1具备：输送部10，输送具有侧缘31A、31B的玻璃基板30；导向辊20，抵接于玻璃基板30的侧缘31A、31B，定位玻璃基板30，导向辊20具备多个分割体21A、21B、21C，在相对玻璃基板30的垂直方向层叠。根据所述结构，若多个分割体21A、21B、21C中的抵接于玻璃基板30的1个分割体21B磨损，则可以将该分割体21B的位置和未磨损的其他分割体21A、21C中的任一个调换。这样，通过调换多个分割体21A、21B、21C的位置并使用，而与未分割的现有的导向辊相比，对应分割体21A、21B、21C的数量可以实现延长寿命并减低成本。另外，多个分割体21A、21B、21C具有彼此均等的厚度。根据这样的结构，多个分割体21A、21B、21C都对被输送的玻璃基板30的厚度具有固定的厚度而哪个分割体21A、21B、21C抵接于玻璃基板30也能确保抑制玻璃基板30的厚度方向的晃动的固定的效果，将基板稳定输送。另外，在多个分割体的厚度彼此不均等的情本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种输送装置，其特征在于，具备：/n输送机构，输送具有侧缘的基板，/n导向辊，抵接于所述基板的所述侧缘的同时进行旋转，定位所述基板，/n所述导向辊具备多个分割体，在相对所述基板的板面的垂直方向层叠。/n

【技术特征摘要】
20190419 US 62/8365281.一种输送装置，其特征在于，具备：
输送机构，输送具有侧缘的基板，
导向辊，抵接于所述基板的所述侧缘的同时进行旋转，定位所述基板，
所述导向辊具备多个分割体，在相对所述基板的板面的垂直...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷泽宣亲，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP