使用Ｘ光透镜的Ｘ射线荧光分析仪制造技术

一种使用Ｘ光透镜（Ｘ光聚束器）的Ｘ光荧光分析仪。Ｘ光透镜使Ｘ光管发射的较大立体角内的Ｘ射线聚焦成直径为毫米至微米的微束斑，提高了束斑的功率密度，相对减少了Ｘ光源的功率，节省能源。微束斑可以用于测定样品内元素的空间分布。由于Ｘ光透镜减少了高能Ｘ射线散射造成的本底，提高了信噪比，从而大大提高了仪器的探测极限。（*该技术在2003年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于测定试样中元素含量的X射线荧光分析仪。X射线荧光分析(XRF)是一种元素含量分析的重要手段，在物理、化学、化工、冶金、生物、医学、地学、材料科学、航天航空和微电子等诸多科研或工业领域里得到广泛的应用。近年来，为了增大信噪比、提高灵敏度和分析速度、进行微区分析等，在技术上取得了一些进展。主要有三种方法一是利用极化X光，初始X光打到晶体极化片上，产生极化X光，此极化X光打到样品上，激发出特征X射线，探头平面的法线方向与打到样品上的极化X光的极化方向平行，极化X光不可能在此方向上传播，因此减少了入射X光对样品发射的特征X光的干扰。参看对比文献〈ENERGY-DISPERSIVE FLUORESENCE ANALYSIS USING BRAGG-REFLECTED PORARIZED X-RAYS〉，H.Aiginger，P.Wobrauschek and C.Brauner，NUCLEAR INSTRUMENTS AND METHODS120(1974)，541－542。二是利用全反射原理，使入射的X光通过两个0.05mm的限制缝，形成细束，以相对于样品平面很小本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于测定样品中元素含量及其空间分布的仪器，该仪器由Ｘ光管、样品底衬、探测器、放大器和计算机多道分析器等组成，其特征在于利用一个或一个以上的Ｘ光透镜（即Ｘ射线聚束器）将入射的Ｘ光或／和从样品出射的特征Ｘ光会聚起来。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：颜一鸣，丁间良，
申请(专利权)人：北京师范大学，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]