确定混合气中各气体浓度的方法和测量导热率的传感器技术

本发明专利技术介绍一种通过测量混合气的导热率确定其各种气体浓度的方法。在（Ｎ－１）种气体温度下测量含Ｎ种气体成分的混合气导热率。根据所获得的导热率测量值，可计算出各种气体的浓度。适用于在各种气体温度下测量导热率的传感器由一块带有在其上面经腐蚀而成的薄膜电阻的硅底板所构成，在底板上盖有一块盖板。在两块板上薄膜电阻的上下，有经腐蚀而成的构成测量室的穴。欲进行测定的混合气，通过一个扩散通道和一些孔口进入测量室。（*该技术在2008年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
通过测量由两种以上的Ｎ种气体组成的混合气导热率来确定这种混合气中各种气体浓度的方法，其特征为：至少在（Ｎ－１）种气体温度下测量混合气的导热率；根据所获得的导热率测量值，用现有的数学方法求解非线性方程组，以算得各种气体的浓度。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：黑恩茨迪特格尔德纳，伯托德霍恩，索马斯利德克，沃夫鲁迪格马克斯，沃纳施亚弗尔，
申请(专利权)人：哈特曼和布朗股份公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]