多层隧道式红外感温干燥机制造技术

本实用新型专利技术涉及纳米工艺领域，具体涉及一种提高基片烘干效率且结构简单、使用方便的多层隧道式红外感温干燥机。壳体的左顶部设置有基片进料斗，右下部设置有基片出料口并配合相应的基片收集斗；在壳体内从上到下设置有多组依次传递基片的烘干机构；上部第一个烘干机构的位置与基片进料斗位置对应，下部最后一个烘干机构的位置与基片出料口的位置对应；还包括有红外感温控制器，每个烘干机构均通过红外传感器与该红外感温控制器连接。本实用新型专利技术的多层隧道式红外感温干燥机，烘干机构依次传递基片的时候能够起到翻转作用，提高基片的烘干效率，此外红外线传感器能够时刻传递烘干温度，能够通过红外感温控制器控制烘干机构保持恒温烘干，避免损伤。

【技术实现步骤摘要】
多层隧道式红外感温干燥机
本技术涉及纳米工艺领域，具体涉及一种提高基片烘干效率且结构简单、使用方便的多层隧道式红外感温干燥机。
技术介绍
在纳米镀膜工艺当中，需要用到烘干工序，对基片进行烘干。现有的烘干方式主要有传动式烘干，即一边烘干一边输送基片；另一种是集中式烘干，即将基片物料堆积在一起烘干一段时间，然后取出。这两种烘干方式的烘干效率都较低，要么是烘干不彻底，要么是需要的烘干时间长。因此，需要一种装置来提高烘干效率。
技术实现思路
针对现有技术中的缺陷，本技术提供一种提高基片烘干效率且结构简单、使用方便的多层隧道式红外感温干燥机。本技术解决上述问题所采取的方案是：多层隧道式红外感温干燥机，包括壳体，在壳体的左顶部设置有基片进料斗，右下部设置有基片出料口并配合相应的基片收集斗；在所述的壳体内从上到下设置有多组依次传递基片的烘干机构；上部第一个所述的烘干机构的位置与所述的基片进料斗位置对应，下部最后一个所述的烘干机构的位置与所述的基片出料口的位置对应；还包括有红外感温控制器，每个所述的烘干机构均通过红外传感器与该红外感温控制器连接。进一步地，为了更好的实现本技术，每个所述的烘干机构包括陶瓷管道、主动轮以及从动轮，所述的主动轮和从动轮通过穿过陶瓷管道的传动带传动；在所述的陶瓷管道外部缠绕有磁控加热线圈，该磁控加热线圈与所述的红外感温控制器连接；相邻两个所述的主动轮的转动方向相反。进一步地，为了更好的实现本技术，相邻两个所述的烘干机构呈左右交错状布置。进一步地，为了更好的实现本技术，在所述的烘干机构的基片的传递位置设置有第一导料板。进一步地，为了更好的实现本技术，在所述的壳体内壁上设置有多个第二导料板。进一步地，为了更好的实现本技术，在所述的最后一个烘干机构的出料位置设置有导向基片出料口的第三导料板。进一步地，为了更好的实现本技术，所述的传动带为网格状。进一步地，为了更好的实现本技术，所述的壳体喷涂有防静电漆。本技术的有益效果体现在：本技术的多层隧道式红外感温干燥机，通过基片进料斗、基片出料口、烘干机构、红外线传感器以及红外感温控制器的配合，烘干机构依次传递基片的时候能够起到翻转作用，提高基片的烘干效率，此外红外线传感器能够时刻传递烘干温度，能够通过红外感温控制器控制烘干机构保持恒温烘干，避免损伤。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。图1为本技术的多层隧道式红外感温干燥机的一种结构示意图；附图中，1-壳体，2-基片进料斗，3-基片出料口，4-基片收集斗，5-陶瓷管道，6-磁控加热线圈，7-主动轮，8-从动轮，9-传动带，10-第一导料板，11-第二导料板，12-基片，13-第三导料板。具体实施方式下面将结合附图对本技术技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本技术的保护范围。需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所述领域技术人员所理解的通常意义。实施例1：如图1所示，本技术的多层隧道式红外感温干燥机，包括壳体1，在壳体1的左顶部设置有基片进料斗2，右下部设置有基片出料口3并配合相应的基片收集斗4；在所述的壳体1内从上到下设置有多组依次传递基片12的烘干机构；上部第一个所述的烘干机构的位置与所述的基片进料斗2位置对应，下部最后一个所述的烘干机构的位置与所述的基片出料口3的位置对应；还包括有红外感温控制器，每个所述的烘干机构均通过红外传感器与该红外感温控制器连接。本技术的多层隧道式红外感温干燥机，通过基片进料斗2、基片出料口4、烘干机构、红外线传感器以及红外感温控制器的配合，烘干机构依次传递基片12的时候能够起到翻转作用，提高基片12的烘干效率，此外红外线传感器能够时刻传递烘干温度，能够通过红外感温控制器控制烘干机构保持恒温烘干，避免损伤。使用时，从基片进料斗2投入基片12，基片12依次经过多个烘干机构，最后从基片出料口3输出进入基片收集斗4，在两个烘干机构传递基片12的时候起到翻转的作用，使得每个基片12均匀受热，提高了烘干效率；同时，红外感温控制器通过红外线传感器时刻监控温度，使得加热温度保持在恒温加热干燥，避免了损伤。实施例2：本实施例在上述实施例的基础上做进一步优化，每个所述的烘干机构包括陶瓷管道5、主动轮7以及从动轮8，所述的主动轮7和从动轮8通过穿过陶瓷管道5的传动带9传动；在所述的陶瓷管道5外部缠绕有磁控加热线圈6，该磁控加热线圈6与所述的红外感温控制器连接；相邻两个所述的主动轮7的转动方向相反。使用时，红外感温控制器通过红外线传感器的信号控制磁控加热线圈6的通电电流，保持恒温加热干燥。主动轮7转动，带动从动轮8转动，基片12在传动带9的带动下一边移动一边加热干燥，当到达边缘位置时，掉到下一层烘干机构的传动带9上，由于相邻两个主动轮7转动方向相反，此时基片12反向移动；依次类推，经过多次的传递，多次翻转，提高了烘干效率和烘干质量。实施例3：本实施例在上述实施例的基础上做进一步优化，相邻两个所述的烘干机构呈左右交错状布置。即第一个烘干机构的左端靠近壳体1的内壁，第二个烘干机构的右端靠近壳体1的内壁，交错布置，方便基片12的传递。实施例4：本实施例在上述实施例的基础上做进一步优化，在所述的烘干机构的基片12的传递位置设置有第一导料板10。设置第一导料板10后，可以方便基片12的传递，避免直接跌落造成的损伤。实施例5：本实施例在上述实施例的基础上做进一步优化，在所述的壳体1内壁上设置有多个第二导料板11。设置第二导料板11后，可以进一步方便基片12的传递，避免直接跌落造成的损伤。实施例6：本实施例在上述实施例的基础上做进一步优化，在所述的最后一个烘干机构的出料位置设置有导向基片出料口3的第三导料板13。设置第三导料板13后，可以方便基片12的传递，避免直接跌落造成的损伤，方便基片12从基片出料口3滑出，进入基片收集斗4。实施例7：本实施例在上述实施例的基础上做进一步优化，所述的传动带9为网格状。所述的传动带9设置为网格状，可以提高烘干加热面积，提高烘干效率。实施例8：本实施例在上述实施例的基础上做进一步优化，所述的壳体1喷涂有防静电漆。由于磁控加热线圈6容易产生静电，在所述的壳体1上喷涂有防静电漆后，可以减少静电带来的影响。最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.多层隧道式红外感温干燥机，其特征在于：包括壳体(1)，在壳体(1)的左顶部设置有基片进料斗(2)，右下部设置有基片出料口(3)并配合相应的基片收集斗(4)；在所述的壳体(1)内从上到下设置有多组依次传递基片(12)的烘干机构；上部第一个所述的烘干机构的位置与所述的基片进料斗(2)位置对应，下部最后一个所述的烘干机构的位置与所述的基片出料口(3)的位置对应；还包括有红外感温控制器，每个所述的烘干机构均通过红外传感器与该红外感温控制器连接。/n

【技术特征摘要】
1.多层隧道式红外感温干燥机，其特征在于：包括壳体(1)，在壳体(1)的左顶部设置有基片进料斗(2)，右下部设置有基片出料口(3)并配合相应的基片收集斗(4)；在所述的壳体(1)内从上到下设置有多组依次传递基片(12)的烘干机构；上部第一个所述的烘干机构的位置与所述的基片进料斗(2)位置对应，下部最后一个所述的烘干机构的位置与所述的基片出料口(3)的位置对应；还包括有红外感温控制器，每个所述的烘干机构均通过红外传感器与该红外感温控制器连接。


2.根据权利要求1所述的多层隧道式红外感温干燥机，其特征在于：每个所述的烘干机构包括陶瓷管道(5)、主动轮(7)以及从动轮(8)，所述的主动轮(7)和从动轮(8)通过穿过陶瓷管道(5)的传动带(9)传动；在所述的陶瓷管道(5)外部缠绕有磁控加热线圈(6)，该磁控加热线圈(6)与所述的红外感温控制器连接；相邻两个所述的主动轮(7)的转动方向相反。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢超，汪红波，陈彪，李刚，
申请(专利权)人：苏州微之纳智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32