一种氢化脱氢炉用抽真空系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种氢化脱氢炉用抽真空系统，属于氢化脱氢炉抽真空技术领域，本实用新型专利技术解决的技术问题在于提供一种氢化脱氢炉用抽真空系统，本实用新型专利技术所采用的技术方案为；反应炉、第一输气管路、扩散泵、第二输气管路、第一输气支路、第一罗茨泵、第二罗茨泵、第二输气支路、机械泵、气量维持管路和维持泵；反应炉的出气口通过第一输气管路与扩散泵的进气口相连通，第二输气管路一端与扩散泵的上出气口相连通，第二输气管路另一端与机械泵的进气口相通，沿着第二输气管路的输气方向上，第二输气管路上依次设置有预抽阀、微抽阀、第一罗茨泵和第二罗茨泵；该设备广泛应用于氢化脱氢炉抽真空领域。

【技术实现步骤摘要】
一种氢化脱氢炉用抽真空系统
本技术属于氢化脱氢炉抽真空
，具体涉及一种氢化脱氢炉用抽真空系统。
技术介绍
氢化脱氢炉是用于钛粉在真空加热环境下吸氢和放氢的反应炉，利用氢可以固溶于钛，形成间歇式固溶体，易于破碎；同时由于氢在钛中的固溶的溶解过程是可逆的，在脱氢的过程中，真空系统可有效的控制钛粉中氧氮氢含量。但现有氢化脱氢炉的抽真空系统，在持续抽真空过程中能耗大，真空系统真空度比较低，真空度偏低造成钛粉吸氢不充分，而且物料反应时间过长，后续研磨破碎不理想，不能达到脱氢过程中产品氢含量的指标；同时，超细钛粉会在抽真空的过程中随气流进入泵体内部，严重污染了泵体，缩短了泵的使用寿命，而且，现有的抽真空系统能耗较大，造成整体抽真空系统的效率降低。因此，提供一种氢化脱氢炉用抽真空系统是目前亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于：提供了一种氢化脱氢炉用抽真空系统，用以现有氢化脱氢炉抽真空系统的真空度低、钛粉污染泵体严重以及抽真空系统能耗大的问题。本技术采用的技术方案如下：一种氢化脱氢炉用抽真空系统，包括：反应炉、第一输气管路、扩散泵、第二输气管路、第一输气支路、第一罗茨泵、第二罗茨泵、第二输气支路、机械泵、气量维持管路和维持泵；反应炉的出气口通过第一输气管路与扩散泵的进气口相连通，第二输气管路一端与扩散泵的上出气口相连通，第二输气管路另一端与机械泵的进气口相通，第二输气管路上沿着输气方向依次设置有预抽阀、微抽阀、第一罗茨泵和第二罗茨泵；扩散泵的上出气口与微抽阀的侧进气口之间通过第一输气支路相连通，扩散泵的下出气口与第一罗茨泵的进气口之间通过第二输气支路相连通，所述维持泵的进气口通过气量维持管路与第二输气支路中部相连通。进一步地，所述反应炉的出气口处设置有过滤网。进一步地，所述过滤网沿着反应炉的出气方向依次设置有下层滤网、中间滤网和上层滤网。进一步地，所述下层滤网的筛目数为100目，中间滤网的筛目数为200目，上层滤网的筛目数为400目。进一步地，所述气量维持管路与第二输气支路的管路接口处设置有维持阀。进一步地，所述第二输气支路上还设置有前置阀，所述前置阀设置在维持阀的出气口处。进一步地，所述第一输气管路上还设置有截止阀，所述扩散泵的顶部设置有主阀门。进一步地，所述微抽阀为三通阀，该三通阀通过电磁阀驱动运行。所述预抽阀也通过电磁阀驱动运行。进一步地，所述气量维持管路与第二输气支路之间是通过三通管连接，该三通管下方设置进气口，三通管上方设置有第一出气口，三通管一侧设置有第二出气口，所述前置阀设置在三通管的第一出气口处，所述气量维持管路与第二出气口相连通，所述维持阀用于控制气量维持管路的通断。该抽真空系统分为四级抽真空。第一级粗抽时，开启截止阀、主阀门、微抽阀、机械泵，关闭预抽阀、前置阀。当反应炉进入到负压状态后，关闭微抽阀并开启预抽阀进行大流速抽气；当在反应炉真空度达到第一罗茨泵的入口压力时，开启第一罗茨泵、第二罗茨泵，系统进入第二级真空泵工作区域，实现对反应炉在负压状态下的大流量抽气。工作一段时间后，反应炉的压力进入到10-2Pa。系统进入到第三级抽真空工作，依次开启前置阀、关闭预抽阀、微抽阀、开启扩散泵，在机械泵、第一罗茨泵、第二罗茨泵、扩散泵运行期间，系统真空度持续下降值到达到10-3Pa，此时系统抽速极为缓慢，系统真空度趋于稳定。为了减少能耗，引入了第四级维持泵抽真空环节，依次开启维持阀、维持泵、关闭前置阀、第一罗茨泵、第二罗茨泵、机械泵。用维持泵即可维持扩散泵的前级工作。整个系统中，机械泵相当于第二罗茨泵的前级泵、第二罗茨泵相当于第一罗茨泵的前级泵、第一罗茨泵相当于扩散泵的前级泵、维持泵在系统真空稳定后充当了扩散泵的前级泵。在四级泵的匹配工作下不仅使得反应炉的真空度达到10-3Pa，而且在维持的过程中实现了节能减排，降低了生产成本，该真空环境给氢化脱氢提供了良好的前置条件。综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：一、本技术中，采用的一种氢化脱氢炉用抽真空系统，通过在四级泵的匹配工作下不仅使得反应炉的真空度达到10-3Pa，缩短了物料反应时间，同时使物料氢化、脱氢更充分，进一步推进了后续物料研磨破碎的工序，达到脱氢过程中产品氢含量的指标。二、本技术中，采用的一种氢化脱氢炉用抽真空系统，通过设置三层过滤网，避免了反应炉内的钛粉随气体外泄进入到真空泵，延长了泵体的使用寿命；同时又在泵体进口处设置微抽阀，当系统抽速大的情况下，有少量钛粉会从反应炉体进入泵体，微抽阀可减轻空气流速，减少了粉末的飘散，避免了钛粉污染了泵体。三、本技术中，采用的一种氢化脱氢炉用抽真空系统，通过设置维持泵，维持泵在系统真空稳定后充当了扩散泵的前级泵，在抽真空系统维持的过程中，实现了节能减排，降低了生产成本，降低了系统整体能耗，提高了抽真空系统的工作效率。附图说明图1是本技术一种氢化脱氢炉用抽真空系统的主视图。图2是本技术一种氢化脱氢炉用抽真空系统的俯视图。图3是本技术一种氢化脱氢炉用抽真空系统的机械泵工作气体流向图。图4是本技术一种氢化脱氢炉用抽真空系统的罗茨泵工作气体流向图。图5是本技术一种氢化脱氢炉用抽真空系统的扩散泵工作气体流向图。图6是本技术一种氢化脱氢炉用抽真空系统维持泵工作气体流向主视图。图7是本技术一种氢化脱氢炉用抽真空系统维持泵工作气体流向俯视图。图中标记：1-反应炉，2-第一输气管路，3-扩散泵，4-第二输气管路，5-第一输气支路，6-第一罗茨泵，7-第二罗茨泵，8-第二输气支路，10-机械泵，11-气量维持管路，12-维持泵，21-预抽阀，22-微抽阀，23-前置阀，24-维持阀，25-过滤网，26-截止阀，27-主阀门。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。如图1和图2所示，本实施例中的一种氢化脱氢炉用抽真空系统，包括：反应炉1、第一输气管路2、扩散泵3、第二输气管路4、第一输气支路5、第一罗茨泵6、第二罗茨泵7、第二输气支路8、机械泵10、气量维持管路11和维持泵12；反应炉1的出气口通过第一输气管路2与扩散泵3的进气口相连通，第二输气管路4一端与扩散泵3的上出气口相连通，第二输气管路4另一端与机械泵10的进气口相通，第二输气管路4上沿着输气方向依次设置有预抽阀21、微抽阀22、第一罗茨泵6和第二罗茨泵7；扩散泵3的上出气口与微抽阀22的侧进气口之间通过第一输气支路5相连通，扩散泵3的下出气口与第一罗茨泵6的进气口之间通过第二输气支路8相连通，所述维持泵12的进气口通过气量维持管路11与第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氢化脱氢炉用抽真空系统，其特征在于，包括：反应炉(1)、第一输气管路(2)、扩散泵(3)、第二输气管路(4)、第一输气支路(5)、第一罗茨泵(6)、第二罗茨泵(7)、第二输气支路(8)、机械泵(10)、气量维持管路(11)和维持泵(12)；/n反应炉(1)的出气口通过第一输气管路(2)与扩散泵(3)的进气口相连通，第二输气管路(4)一端与扩散泵(3)的上出气口相连通，第二输气管路(4)另一端与机械泵(10)的进气口相通，第二输气管路(4)上沿着输气方向依次设置有预抽阀(21)、微抽阀(22)、第一罗茨泵(6)和第二罗茨泵(7)；/n扩散泵(3)的上出气口与微抽阀(22)的侧进气口之间通过第一输气支路(5)相连通，扩散泵(3)的下出气口与第一罗茨泵(6)的进气口之间通过第二输气支路(8)相连通，所述维持泵(12)的进气口通过气量维持管路(11)与第二输气支路(8)中部相连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种氢化脱氢炉用抽真空系统，其特征在于，包括：反应炉(1)、第一输气管路(2)、扩散泵(3)、第二输气管路(4)、第一输气支路(5)、第一罗茨泵(6)、第二罗茨泵(7)、第二输气支路(8)、机械泵(10)、气量维持管路(11)和维持泵(12)；
反应炉(1)的出气口通过第一输气管路(2)与扩散泵(3)的进气口相连通，第二输气管路(4)一端与扩散泵(3)的上出气口相连通，第二输气管路(4)另一端与机械泵(10)的进气口相通，第二输气管路(4)上沿着输气方向依次设置有预抽阀(21)、微抽阀(22)、第一罗茨泵(6)和第二罗茨泵(7)；
扩散泵(3)的上出气口与微抽阀(22)的侧进气口之间通过第一输气支路(5)相连通，扩散泵(3)的下出气口与第一罗茨泵(6)的进气口之间通过第二输气支路(8)相连通，所述维持泵(12)的进气口通过气量维持管路(11)与第二输气支路(8)中部相连通。


2.根据权利要求1所述的一种氢化脱氢炉用抽真空系统，其特征在于：所述反应炉(1)的出气口处设置有过滤网(25)。


3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：高林，马李蕾，刘颖波，
申请(专利权)人：宝鸡泰力松新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61