基于达曼光栅的并行共焦检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种基于达曼光栅的并行共焦检测装置，结构包括光源、针孔滤波器，其特征还包括聚光透镜、达曼光栅、二向色镜、成像透镜组、滤光片、共焦针孔阵列板和二维光电探测器；被测样品置于二向色镜的下方。该装置中由于达曼光栅的性质，多通道之间的光强均匀，各个通道之间间距可调，消除杂散光效果好，有利于荧光检测。该系统结构简化，利用微加工工艺制作达曼光栅可降低成本，有很好的应用前景。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种基于达曼光栅的并行共焦检测装置，可应用于生物学研究，生物医学研究，材料科学和工业产品制造加工检测等，属光学成像和检测装置
传统的共焦激光扫描显微镜是单点探测，必须长时间扫描以产生二维图象，结构复杂，价格昂贵；而现有的并行共焦系统，微阵列三维面形并行共焦检测装置，也有焦斑质量和探测的横向分辨率较差、分光光强不均匀、光源点阵间距无法调整、三维探测的各个层面点阵间距不同、消除杂散光的效果较差等不足。现有最新的并行共焦检测装置是微阵列三维面形并行共焦检测装置(专利号97210075.X)，图1是该装置的主要结构。微阵列三维面形并行共焦检测装置依次由处于同一条中心光轴上的光源1、小孔光阑2、准直透镜3、微光学阵列合成器4、半透半反镜7、物镜5构成。除半透半反镜7为45°倾斜外，其余各部件所在平面相互平行并均垂直于中心光轴。CCD面阵10所在平面平行于中心光轴8、其接收面正对半透半反镜7反射面。其中“微光学阵列合成器件”，专利号97210955，含有微透镜列阵、小孔滤波列阵、玻璃基底和固定架。小孔滤波列阵与微透镜列阵相匹配，即小孔的间距于微透镜列阵焦点间距相等，小本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于达曼光栅的并行共焦检测装置，该装置包括光源、小孔光阑，其特征还包括聚光透镜、达曼光栅、二向色镜、成像透镜组、滤光片、共焦针孔阵列板和二维光电探测器；被测样品置于二向色镜的下方；光源发出的光经过针孔滤波器后形成一束原点位于针孔，并沿着水平光轴线传播的发散高斯光束，聚光透镜将发散高斯光束变换成为会聚高斯光束，此会聚光束经过达曼光栅后，经衍射形成多个会聚高斯光束，会聚光束经过二向色镜的反射后转向，沿着铅垂光轴线传播，所有会聚点都落在样品的与铅垂光轴线垂直的同一个截面上，形成间距相等的会聚光点阵，该会聚光点阵照明样品截面，并激发该截面上含有荧光标记的样品发射荧光，样品的截面位于成像透镜组中前透...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：邬敏贤，杨蓉，何庆声，严瑛白，金国藩，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]