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基于达曼光栅的并行共焦检测装置制造方法及图纸
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下载基于达曼光栅的并行共焦检测装置的技术资料
文档序号:2600605
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本发明涉及一种基于达曼光栅的并行共焦检测装置,结构包括光源、针孔滤波器,其特征还包括聚光透镜、达曼光栅、二向色镜、成像透镜组、滤光片、共焦针孔阵列板和二维光电探测器;被测样品置于二向色镜的下方。该装置中由于达曼光栅的性质,多通道之间的光强均...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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