【技术实现步骤摘要】
膜厚的检测装置
本申请涉及膜厚检测领域，具体而言，涉及一种膜厚的检测装置。
技术介绍
现有的薄膜厚度检测装置，是利用静电荷感应的原理来检测薄膜厚度的，这种薄膜厚度检测装置包括共通电极、检出电极以及检出电路，共通电极与检出电极在第一方向上相对设置，间隔一定距离形成间隙均一的待测物体的通道。现有的薄膜厚度检测装置工作时，在共通电极上施加脉冲信号，检出电极上就会感应出电压信号，当待检测的薄膜从检出电极上方通过时，检出电极上的电压就会发生变化，电压的变化大小与所通过物体的性质和厚度有关，由于检出电路与检出电极电连接，并且检出电路的电路结构能够将获得的电压变化值转变成待检测薄膜的厚度，因此，检出装置能够检测出该薄膜的厚度，进而得出薄膜的厚度是否异常，其表面是否有异物、缺损或者折叠。上述现有的薄膜厚度检测装置存在如下问题：为了提高薄膜厚度检测装置的检测感度，必须使共通电极与检出电极形成的检测通道的间距尽量减小，然而距离过小使得薄膜不容易从检测通道中通过，在薄膜扫描过程中尤其时连续扫描过程中很容易卡膜，因而限制了此类薄膜厚...
【技术保护点】
1.一种膜厚的检测装置，其特征在于，包括：/n检出结构，包括检出电极；/n共通电极，与所述检出电极在第一方向上相对且间隔设置，所述检出结构和所述共通电极之间的间距为预定间距；/n介质部，位于所述检出电极和所述共通电极之间，且所述介质部位于所述检出结构的表面上和/或位于所述共通电极的表面上，所述介质部的厚度小于所述预定间距，所述介质部用于增加所述检出电极和所述共通电极之间的介电常数。/n
【技术特征摘要】
1.一种膜厚的检测装置，其特征在于，包括：
检出结构，包括检出电极；
共通电极，与所述检出电极在第一方向上相对且间隔设置，所述检出结构和所述共通电极之间的间距为预定间距；
介质部，位于所述检出电极和所述共通电极之间，且所述介质部位于所述检出结构的表面上和/或位于所述共通电极的表面上，所述介质部的厚度小于所述预定间距，所述介质部用于增加所述检出电极和所述共通电极之间的介电常数。
2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检出结构还包括多个所述检出电极，多个所述检出电极至少沿第二方向依次排列设置，所述第二方向分别与所述第一方向以及待测物体的移动方向垂直，所述介质部在所述第二方向上的长度大于或者等于多个所述检出电极在所述第二方向上的总长度。
3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述介质部位于所述共通电极的靠近所述检出电极的表面上。
4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述共通电极为圆柱体电极，所述圆柱体电极的轴向与所述第二方向平行。
5.根据权利要求4所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：戚务昌，宋荣鑫，张凯，曲涛，林永辉，姜利，
申请(专利权)人：威海华菱光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37
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