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本申请提供了一种膜厚的检测装置，该装置包括：检出结构，包括检出电极；共通电极，与检出电极在第一方向上相对且间隔设置，检出结构和共通电极之间的间距为预定间距；介质部，位于检出电极和共通电极之间，且介质部位于检出结构的表面上和/或位于共通电极的...
该专利属于威海华菱光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过威海华菱光电股份有限公司授权不得商用。

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