数据处理方法及系统技术方案

本发明专利技术公开了一种数据处理方法，其用于将Design Gauge导出CD‑SEM量测数据与制程工艺和或量测图片建立对应关系，包括：从Design Gauge导出的.csv文件中提取量测点命名及量测点坐标；提取量测点的制程工艺信息重新构建量测值与晶圆对应的分布格式；从.csv文件获取原始量测图片文件名信息，将CD‑SEM量测数据导出的图片文件夹中检索原始量测图片文件名，将检索到的图片按照晶圆图片格式插入到最终的输出文件。本发明专利技术还公开了一种数据处理系统。采用本发明专利技术的对Design Gauge数据进行处理，避免了人工核查能通过系自动完成需求格式转换，极大地提高了工程师的工作效率。

【技术实现步骤摘要】
数据处理方法及系统
本专利技术涉及半导体生产制造领域，特别是涉及一种将DesignGauge导出CD-SEM量测数据与制程工艺和或量测图片建立对应关系的数据处理方法。本专利技术还涉及一种将DesignGauge导出CD-SEM量测数据与制程工艺和或量测图片建立对应关系的数据处理系统。
技术介绍
OPC部门在模型建立、模型仿真、weakpoint分析等过程中需要处理大量的CDSEM量测数据。DesignGauge软件平台提供了基于版图进行离线CD-SEMrecipe建立及量测数据检查的解决方案，其优点在于可以批量建立方案recipe，节省CD-SEM机台借机时间，已经成为OPC部门模型数据收集、模型验证数据收集以及工艺弱点数据收集等需要收集大量CD-SEM数据的必要工具DesignGauge工具在CDSEMrecipe建立及数据检查方面带来了极大的便利，已成为大量CDSEM量测及数据分析不可或缺的工具。然而，DesignGauge在数据导出方面仍有不足，目前只能导出一种数据格式，DesignGauge仅提供列表形式的数据文件以及单独的量测图片文件，且无法将图片导入至数据文件中，数据分析过程中需要与wafershot建立对应关系或需要查看量测图片时需要人工进行数据格式调整，耗费大量的人力。例如，分析FEMwaferdata或CDUdata时，需要人工转换成wafer格式的数据。此外，其他CDSEM数据分析软件如PWA尚不支持DesignGauge格式的数据，在进行工艺窗口分析时同样需要人工转换。在另外，在使用PWA软件分析量测的FEM数据时，由于PWA软件不支持DesignGauge导出的数据格式，同样需要进行人工转换。
技术实现思路
在
技术实现思路
部分中引入了一系列简化形式的概念,该简化形式的概念均为本领域现有技术简化，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本专利技术的
技术实现思路
部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。本专利技术要解决的技术问题是提供一种能将DesignGauge导出CD-SEM量测数据与制程工艺和或量测图片建立对应关系的数据处理方法。本专利技术要解决的另一技术问题是提供一种格式转换的功能，用于PWA软件。为解决上述技术问题，本专利技术提供的数据处理方法，包括以下步骤：S1，从DesignGauge导出的.csv文件中提取量测点命名及量测点坐标；S2，提取量测点的制程工艺信息重新构建量测值与晶圆对应的分布格式；S3，从.csv文件获取原始量测图片文件名信息，将CD-SEM量测数据导出的图片文件夹中检索原始量测图片文件名，将检索到的图片按照晶圆图片格式插入到最终的输出文件。可选择的，进一步改进所述的数据处理方法，采用下述步骤替换步骤S3；S3’，根据制程工艺信息、量测模板(EPS)信息及图片信息构建叠加量测信息图片的文件名，将CD-SEM量测数据导出的图片文件夹中检索原始量测图片文件名，将检索到的图片按照晶圆图片格式插入到最终的输出文件。可选择的，进一步改进所述的数据处理方法，该数据处理方法至少能通过Python编程实现。本专利技术提供一种数据处理系统，包括：信息提取模块，其用于从DesignGauge导出的.csv文件中提取量测点命名及量测点坐标；第一数据处理模块，其用于提取量测点的制程工艺信息重新构建量测值与晶圆对应的分布格式；第二数据处理模块，其用于从DesignGauge导出的.csv文件获取原始量测图片文件名信息，将CD-SEM量测数据导出的图片文件夹中检索原始量测图片文件名，将检索到的图片按照晶圆图片格式插入到最终的输出文件。可选择的，进一步改进所述的数据处理系统，第二数据处理模块，其根据制程工艺信息、量测模板(EPS)信息及图片信息构建叠加量测信息图片的文件名，将CD-SEM量测数据导出的图片文件夹中检索原始量测图片文件名，将检索到的图片按照晶圆图片格式插入到最终的输出文件。可选择的，进一步改进所述的数据处理系统，能将DesignGauge导出CD-SEM量测值按照晶圆图片格式输出至新的.xlsx文件中。可选择的，进一步改进所述的数据处理系统，能将选中的量测图片按照晶圆图片格式输出至新的.xlsx文件中。可选择的，进一步改进所述的数据处理系统，能将曝光条件信息输出到最终的输出文件对应的制程工艺信息中。可选择的，进一步改进所述的数据处理系统，能在界面上标记出符合条件的测量值。可选择的，进一步改进所述的数据处理系统，能在界面上设置目标ADI值的可接受变化范围。可选择的，进一步改进所述的数据处理系统，能在界面上高光显示被权利要求10中所设定条件选择出的的数据和图片内容。可选择的，进一步改进所述的数据处理系统，能对FEM数据进行拟合处理，并计算出最优光刻条件，即能量和聚焦平面位置。可选择的，进一步改进所述的数据处理系统，能根据PWA软件输出文件的格式要求将DesignGauge输出CD-SEM量测数据转换.txt格式作为PWA软件输入文件。可选择的，进一步改进所述的数据处理系统，能通过Python编程实现。DesignGauge导出的CD-SEM量测数据的基本结构如图1所示，包含如下三部分内容，关于量测数据详细信息的.txt文件、量测数据经过一定格式处理的.csv文件以及包含原始量测图片和叠加量测标记的图片的文件夹，其中原始图片的命名与.csv文件EP_Image列中一致。本专利技术在数据处理时的基本原理如下：从.csv文件中提取量测点命名及量测点坐标，并通过提取量测点的shot信息重新构建关于量测值与wafer对应的分布格式。从.csv文件中直接获取原始量测图片的文件名信息或根据shot、量测模板(EPS)及MP信息构建叠加量测信息图片的文件名，随后从导出的图片文件夹中检索相应图片，并按照wafermap格式插入到最终的输出文件中。采用本专利技术的对DesignGauge数据进行处理，能将DesignGauge导出CD-SEM量测数据通过格式转换(例如通过python实现的脚本)与制程工艺和或量测图片建立对应关系，将数据转换为与wafershot对应的格式时，可选择输出曝光条件、量测图片等，避免了人工核查能极大地提高了工程师的工作效率。此外，还可以通过脚本将数据转换成PWA软件支持的.txt格式文件用于PWAwindow分析。附图说明本专利技术附图旨在示出根据本专利技术的特定示例性实施例中所使用的方法、结构和/或材料的一般特性，对说明书中的描述进行补充。然而，本专利技术附图是未按比例绘制的示意图，因而可能未能够准确反映任何所给出的实施例的精确结构或性能特点，本专利技术附图不应当被解释为限定或限制由根据本专利技术的示例性实施例所涵盖的数值或属性的范围。下面结合附图与具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明：图1是本专利技术对DesignGauge导出数据的基本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种数据处理方法，其用于将Design Gauge导出CD-SEM量测数据与制程工艺和或量测图片建立对应关系，其特征在于，包括以下步骤：/nS1，从Design Gauge导出的.csv文件中提取量测点命名及量测点坐标；/nS2，提取量测点的制程工艺信息重新构建量测值与晶圆对应的分布格式；/nS3，从.csv文件获取原始量测图片文件名信息，将CD-SEM量测数据导出的图片文件夹中检索原始量测图片文件名，将检索到的图片按照晶圆图片格式插入到最终的输出文件。/n

【技术特征摘要】
1.一种数据处理方法，其用于将DesignGauge导出CD-SEM量测数据与制程工艺和或量测图片建立对应关系，其特征在于，包括以下步骤：
S1，从DesignGauge导出的.csv文件中提取量测点命名及量测点坐标；
S2，提取量测点的制程工艺信息重新构建量测值与晶圆对应的分布格式；
S3，从.csv文件获取原始量测图片文件名信息，将CD-SEM量测数据导出的图片文件夹中检索原始量测图片文件名，将检索到的图片按照晶圆图片格式插入到最终的输出文件。


2.如权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于：采用下述步骤替换步骤S3；
S3’，根据制程工艺信息、量测模板信息及图片信息构建叠加量测信息图片的文件名，将CD-SEM量测数据导出的图片文件夹中检索原始量测图片文件名，将检索到的图片按照晶圆图片格式插入到最终的输出文件。


3.如权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于：该数据处理方法至少能通过Python编程实现。


4.一种数据处理系统，其用于将DesignGauge导出CD-SEM量测数据与制程工艺和或量测图片建立对应关系，其特征在于，包括：
信息提取模块，其用于从DesignGauge导出的.csv文件中提取量测点命名及量测点坐标；
第一数据处理模块，其用于提取量测点的制程工艺信息重新构建量测值与晶圆对应的分布格式；
第二数据处理模块，其用于从DesignGauge导出的.csv文件获取原始量测图片文件名信息，将CD-SEM量测数据导出的图片文件夹中检索原始量测图片文件名，将检索到的图片按照晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：解为梅，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31