【技术实现步骤摘要】
扫描探针显微镜的制作方法
本专利技术涉及用于精密表面分析的显微仪器，特别是一种扫描探针显微镜。
技术介绍
扫描探针显微镜是一种形貌表征仪器，优点在于对样品环境的要求低，可以以很高的分辨率对样品表面进行纳米级观测。现有技术中的扫描探针显微镜根据探针与被观测样品表面之间的作用方式分为两种模式一种是接触模式，另一种是非接触模式。 接触模式的扫描探针显微镜是利用针尖与样品之间的短程原子间的斥力相互作用来成像的，其针尖位于用光刻技术制成的“V”字形微悬臂的顶端下方，针尖端曲率很小，一般小于30nm，可以探测到样品表面存在的磁力、静电力和范德华力等长程力。这种微悬臂既可以感受到微弱的原子间的作用力(10-7N～10-10N)，又可以成功地采用“V”型结构抑制图像的扭曲畸变。微悬臂的另一端固定住，针尖趋近样品表面并与表面轻轻接触，由于针尖尖端原子与样品表面原子之间存在着微弱的库仑排斥力，通常为10-8～10-11N，当对样品表面进行扫描时，带有针尖的微悬臂将随着样品表面的起伏而颤动；利用一束激光照射到微悬臂的背面，微悬臂将激光束反射到一个光电检测器，该光电检测器通过其不同...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.扫描探针显微镜，包括带针尖的微悬臂，其特征在于所述微悬臂与振荡装置固定连接。2.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜，其特征在于所述针尖位于所述微悬臂的一端，所述振荡装置位于所述微悬臂的另一端。3.根据权利要求2所述的扫描探针显微镜，其特征在于所述振荡装置包括压电陶瓷晶体，和对该压电陶瓷晶体的振荡频率及振幅进行控制的振荡频率控制器，所述微悬臂固定在所述压电陶瓷晶体上。4.根据权利要求3所述的扫描探针显微镜，其特征在于所述压电陶瓷晶体带动所述微悬臂以20nm-100nm的振幅在压电陶瓷的谐振频率附近振荡，并使得所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王宏，奚爽，李丹芸，
申请(专利权)人：北京中科奥纳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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