振动隔离装置制造方法及图纸

一种振动隔离装置，用于隔离一振动源与一载件，该装置包括：承载台，用于承载该载件；外壳，设置在该振动源上，且围置出一容置空间；盖板，封盖在该容置空间的上方；基座，设置在该容置空间中、并延伸出该盖板与该承载台连接；多个连接件，设置在该容置空间中以及多个致动件，分别设置在每一个连接件中；本发明专利技术可充分隔离垂直与水平的振动，不会放大低频振动；同时确保该致动件仅承受轴向的负荷，不会因突发状况造成该致动件的挠曲负荷；此外，由于本发明专利技术的传感件可直接感测该承载台，故而也可避免低频隔振效果不佳等问题，充分解决了现有技术的缺点。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于一种振动隔离装置，特别是关于一种用于精密的纳米级检测设备隔振的振动隔离装置。
技术介绍
在电子及半导体产业中，其制程及检测设备往往对环境的微小振动相当敏感，在不良的微小振动环境下，极易造成这些仪器设备的动作误差或测量结果难以判读，尤其在未来制程逐渐向纳米级分辨率发展的情况下，检测设备对隔振的要求显然也更为迫切。现有对于纳米级分辨率的电子显微镜、扫描探针显微镜或原子力显微镜，均是采用气垫隔振系统配合光学桌进行隔振，此类隔振系统在低频的部分常会放大振动，造成影像分辨率不佳；这是由于对于气垫或橡胶垫隔振而言，其在低频部分往往会出现共振的自然频率，进而导致振动放大与隔振的困难；此外，一般主动隔振系统大多仅适用于重型设备，对小型检测设备则有成本过高等问题，因此也造成小型检测设备隔振上的限制。若如图4所示采用主被动隔振混合设计，借一压电致动器51主动控制低频部分的振动，并借另一被动隔振材料52阻绝高频部分与来自设备干扰信号的振动，的确可解决一般被动隔振在低频时被放大的问题。这项设计的缺点在于，当外界发生突发振动时，极易造成该单一压电致动器51的挠曲负荷，导致结构的破坏；且对该本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种振动隔离装置，用于隔离一振动源与一载件，其特征在于，该振动隔离装置包括：承载台，用于承载该载件；外壳，设置在该振动源上，且围置出一容置空间；盖板，封盖在该容置空间的上方；基座，设置在该容置空间中、并延伸出该盖板与该承载台连接；多个连接件，设置在该容置空间中，位于该基座的周围，且每一连接件分别与该基座及该盖板连接；以及多个致动件，分别设置在每一个连接件中，在该振动源振动时改变该连接件与基座的振动，维持该承载台的振动为最小。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙彦硕，王维汉，巫震华，毛彦杰，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]