一种用于检查基片存在的缺陷的装置，包括： 一个位于本体上部的基础部件； 一个安装在所述基础部件上的用于可分离地放置待检基片的检查平台，所述检查平台有一端能够围绕一旋转轴转动； 一个用于把所述检查平台转动到需要的角度的转动装置； 一个背光装置，用于把光从所述检查平台的背面投射到检查平台上的待检基片上。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及基片的检查装置，特别涉及用肉眼检查液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)或类似部件的基片的缺陷的装置。
技术介绍
众所周知，在用于检查液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)、或类似部件的基片的装置中，有一种装置能够把宏观观察转变为微观观察。在宏观观察中，照明光线被直接投射到玻璃基片的表面上，并观察缺陷部位，例如裂纹或斑点。在微观观察中，把宏观观察中检查出的缺陷放大并且进行更精确的观察。在用于检验基片的现有技术的装置中，日本公开专利No.H5-322783中披露了一种装置，其中基片被放置在一个可以在X-Y方向移动的X-Y平台上，而该X-Y平台可以两维地移动到一个具有宏观观察功能的宏观观察系统和一个具有微观观察功能的微观观察系统中，该装置不适合用于检查目前尺寸趋向于不断增大的平面显示器。为了解决检查基片的装置的问题，韩国技术公开号第20-0238929(2001年10月8日)中披露了一种装置，其中，基片被放置在一个可转动的平台上，如果上述装置处在宏观观察平台被旋转而使其倾斜的状态下，可通过使用来自光源的投向基片的照明光线来进行宏观观察检验。在一个可旋转平台被设定为水平的状态下，当在水平方向移动在可旋转平台上具有自备照明的微观观察系统时，可以进行微观观察检验。然而，前面所述的用于检验基片的现有技术的装置存在一个问题，那就是由于照明光线是从基片的下方或上方距基片很远的位置投射到将要检查的基片(待检基片)的整个表面上，造成总的照明不充分，使对存在的缺陷的检验工作很困难。更进一步，由于照明不足，现有技术的用于检验基片的装置不能对液晶显示器中两层基片之间充入液晶的状态进行检查，需要把液晶检查和基片表面缺陷的检查分开进行，这样要耗费更多的检查时间和费用。
技术实现思路
因此，本专利技术涉及一种用于基片检验的装置，该装置有效地解决了由于现有技术的限制和缺陷而产生的一个或多个问题。本专利技术的一个目的是提供一种用于基片检验的装置，该装置能够更精确地在宏观和微观观察中确认缺陷。本专利技术的其它特点和优点将在下面的描述中说明，本领域普通技术人员通过阅读下列内容或通过实施本专利技术，可以理解或认识到本专利技术的特征和优点。本专利技术的目的和其它优点可以通过说明书及附图中所详细阐明的结构来实现和获得。为了达到这些目的和其它优点并依照本专利技术的目的，正如下面实施例所体现的和充分说明的，用于检验平面基片存在的缺陷的装置包括在本体上部的一个基础部件；一个安装在基础部件上用于可分离地放置待检查的基片的检查平台，该检查平台的一端可环绕一转动轴旋转；一个用于把所述检查平台转动到需要的角度的转动装置；一个背光装置，用于把光从所述检查平台的背面投射到检查平台上的待检基片上。这样通过在安放基片的检查平台的后部安装背光装置可使缺陷确认更精确。对微观观察检查，有一个微观观察装置，包括一台通过移动装置可以沿着基础部件的上部水平方向前后移动的显微镜，这样当微观观察装置沿着水平方向放置的检查平台上的基片的顶部移动时，微观观察装置可以进行微观观察。背光装置可以在基础部件上面沿上/下方向运动，并可分开的安装在检查平台的后部。为此，该装置进一步包括用于把所述背光装置安装到所述检查平台的后部或从检查平台的后部拆分的(固定)分离装置。通过把所述背光装置安装到所述检查平台或从检查平台拆分的分离装置，在宏观检查中，该背光装置被安装到检查平台上，以确保提供大量的光。在微观检查中，该背光装置与检查平台分离，以保证提供一个用于在检查平台和背光装置之间移动发射照明光源的空间。可以理解，本专利技术的上述说明和以下的详细说明都是说明性的和解释性的，其目的在于对本专利技术要求保护的范围提供进一步的解释。附图说明本专利技术通过附图来进行进一步的说明，这些附图结合在本申请中并构成本申请的一部分，与说明书一起对本专利技术的实施例进行说明，阐明本专利技术的专利技术构思。在附图中 图1是根据本专利技术的一个优选实施例的用于基片检验的装置的主视图。图2是图1中用于基片检验的装置的平台的平面图。图3是图2中的平台的仰视图。图4是图3中的平台的侧视图。图5是一个平面图，示意性地说明了一个用于把背光装置固定到图2中的平台的结构。图6是一个剖面图，说明用于固定图5中的背光装置的一个接合部件。图7是一个用于调整在图2中平台上的基片的调整系统(alignment unit)的平面图。图8是说明本专利技术的基片检验装置在宏观观察的操作状态的一个主视图。图9是说明本专利技术的基片检验装置在微观观察的操作状态的一个主视图。具体实施例方式现在将详细参照本专利技术的优选实施例，结合附图对本专利技术的内容进行详细说明。图1是根据本专利技术的一个优选实施例的用于基片检验的装置的主视图。参照图1，在基片检验装置的本体1的上部，具有多个悬浮结构3，每一个悬浮结构都构成一个以空气填充的弹性结构，用于吸收从外部传来的振动，在悬浮结构3上有一个基础部件2，并且在基础部件2上安装有一个围绕旋转轴41转动的用于可分离地放置一个待检基片的检查平台4。在检查平台4和基础部件2之间安装有一个背光装置5，该背光装置可以在上/下方向移动，以便把光从检查平台4的后部照射到检查平台4。为了使背光装置5沿上/下方向移动，有一套提升系统，包括一个在基础部件2上用于安放背光装置5的基座构件6；多个连接杆7，每一根连接杆的顶端都穿过基础部件2与基座构件6连接；一块操纵板8，该操纵板在基础部件2的下面的位置与连接杆7的下端连接；和一个位于基础部件2下面的气动的提升气缸9，用于上/下移动该操纵板8。背光装置5包括一组在方形框架51中的用于发光的灯(图中没有显示)。有一对平行安装在基础部件2上的LM导杆(或称为导轨)15，每一根LM导杆15上都安装有一个移动块14，移动块上安装有一个微观观察装置10，移动块的相对的端部滑动的安装在LM导杆15上，用来和LM导杆15一起(或沿着导杆)水平方向前后移动。微观观察装置10包括一台安装在移动块14上的显微镜11，用于和移动块14一起左右方向水平移动；和在移动块14的下部的长杆形发射照明光源12，用于在移动块14和LM导杆15一起(或沿着导杆)并在检查平台4和背光装置5之间移动时把发射光投射到检查平台4上的基片G上。同时，尽管图中没有显示，对于用来使移动块14沿LM导杆15移动的装置，可以使用一条滚珠丝杠和一台伺服电机，或适当地使用公知的驱动机构，例如线性电机或类似的装置。如果使用滚珠丝杠和伺服电机，滚珠丝杠和LM导杆15平行安装。一个螺母部件与移动块14接合，当滚珠丝杠转动时，该螺母部件可以沿着螺母部件移动。如果使用线性电机，则线性电机的定子和LM导杆15平行安装，而线性电机的动子固定到移动块14上，这样使动子沿着定子移动。除此之外，链齿轮、或滑轮和皮带的驱动机构也可以使用。为把检查平台4旋转到一个需要的角度，连接杆16以铰链方式(铰接)连接到检查平台4的相对的边上，以便使连接杆16自由转动。在基础部件2的下面，操纵杆17与电机18可移动的安装在一起，每一根操纵杆都有一端铰接到连接杆16的下端，其目的在于，当与操纵杆17的端部连接的连接杆16随着由电机18驱动的操纵杆17的转动而折叠或打开时，转动检查平台4。同时，图2-7说明了检查平台4的结构。参照图本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：沈在信，金珠焕，李东仁，
申请(专利权)人：DET株式会社，
类型：发明
国别省市：
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