反铁电存储器制造技术

本发明专利技术公开了一种反铁电存储器，包括：衬底；源电极和漏电极，设置于衬底的两端；反铁电薄膜结构层，设置于衬底上，且该反铁电薄膜结构层自衬底向上依次包括第一反铁电层、中间电极、第二反铁电层和顶电极；其中，顶电极、中间电极和衬底之间具有功函数差。本发明专利技术提供的该反铁电存储器，利用双反铁电夹层结构，同时实现两个反铁电薄膜层极化滞回曲线向Y轴平移，使反铁电薄膜极化滞回曲线的两个窗口都位于零外电压位置。

【技术实现步骤摘要】
反铁电存储器
本专利技术涉及微电子器件领域，尤其涉及一种新型的反铁电存储器。
技术介绍
近年来，铁电存储器作为非易失性存储器而受到行业的关注。尤其是金属-铁电体-半导体结构的单晶体管型存储单元在闪速存储器中的应用备受期待。然而，目前研究的基于HfO2的铁电薄膜的存储器存在唤醒效应、印刻效应和极化疲劳等问题，严重影响了存储器的可靠性。同时由于铁电薄膜极化退化现象，使得存储器的保持特性和耐久性较差。已有研究表明，T相的反铁电材料比O相的铁电材料具有更好的稳定性，可以有效避免唤醒效应、印刻效应和极化疲劳，将反铁电材料应用于存储器会有更好的数据保持特性，具有非常好的应用前景。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种反铁电存储器，以至少部分解决以上技术问题。(二)技术方案本专利技术提供了一种反铁电存储器，包括：衬底；源电极和漏电极，设置于衬底的两端；反铁电薄膜结构层，设置于衬底上，且反铁电薄膜结构层自衬底向上依次包括第一反铁电层、中间电极、第二反铁电层和顶电极；其中，中间电极的功函数同时小于顶电极和衬底各自的功函数，或中间电极的功函数同时大于顶电极和衬底各自的功函数。进一步的，衬底的功函数和顶电极的功函数相同。一些实施例中，基于上述的反铁电存储器，其中：反铁电薄膜结构层，还包括一底电极，设置于第一反铁电层之下；反铁电存储器，还包括一绝缘层，设置于反铁电薄膜结构层和衬底之间；r>其中，中间电极的功函数同时小于顶电极和底电极各自的功函数，或中间电极的功函数同时大于顶电极和底电极各自的功函数。进一步的，顶电极的功函数和底电极的功函数相同。一些实施例中，第一反铁电层和第二反铁电层的材料为纯ZrO2或Zr占比大于Hf占比的HfZrO，薄膜厚度为10nm以下。一些实施例中，第一反铁电层和第二反铁电层的材料还包括：PbZrO3，NH4H2PO4(ADP)型、(NH4)2SO4型、(NH4)2H3O6型、钙钛矿型以及RbNO3型反铁电材料。一些实施例中，顶电极、底电极和中间电极的材料为Ti、TiN、TiSi、TiAlN、TaN、TaCN、TaSi、W、WSi、WN、Al、Ru、RuO、RuO2、Re、Pt、Ir、IrO2、In2O3、SnO、ZnO、Ti、Ni、Nb、Ga、GaN、GeSi、掺杂Si、SiC、GeSi或其组合。一些实施例中，衬底的材料为硅、锗、硅锗、绝缘体上硅或绝缘体上锗。(三)有益效果本专利技术提供的该反铁电存储器，具有以下有益效果：(1)利用反铁电薄膜的稳定性，可以有效避免铁电存储器中存在的唤醒效应、印记效应和极化疲劳问题，将反铁电材料应用于存储器会有更好的数据保持特性；(2)利用双反铁电夹层结构替代绝缘层，同时实现两个反铁电薄膜层极化滞回曲线向Y轴平移，使反铁电薄膜极化滞回曲线的两个窗口都位于零外电压位置；(3)利用双反铁电夹层结构，可以实现顶电极对底电极电压的控制从而控制施加在沟道上的电压，实现在大栅极电压下对沟道的控制。附图说明图1是本专利技术一实施例提供的反铁电薄膜层的结构图；图2a是本专利技术一实施例中反铁电薄膜的双滞回曲线；图2b是图2a平移后的双滞回曲线；图3是本专利技术第一实施例提供的反铁电存储器中存储器单元的截面示意图；图4是本专利技术第二实施例提供的反铁电存储器中存储器单元的截面示意图；图5是本专利技术一实施例提供的反铁电存储器中的电滞回线。具体实施方式传统的基于HfO2的铁电薄膜的存储器存在唤醒效应、印刻效应和极化疲劳等问题，严重影响了存储器的可靠性。同时由于铁电薄膜极化退化现象，使得存储器的保持特性和耐久性较差。有鉴于此，本专利技术提供了一种反铁电存储器，具体的，设计反铁电薄膜结构层如图1所示，分别由顶电极、中间电极、底电极和两个反铁电薄膜层(反铁电层①、反铁电层②)组成，由于反铁电薄膜的电滞回线与铁电薄膜极化滞回曲线的差异，反铁电薄膜的记忆窗口不在零电场附近，如图2a表示本专利技术实施例中反铁电薄膜的双电滞回线，为了使反铁电薄膜的记忆窗口平移至零电场附近，可以采用具有不同功函数的电极层，由其产生一个电场，在该电场作用下，实现反铁电薄膜的双电滞回线中记忆窗口被固定在零外电场附近，如图2b即为在具有不同功函数的电极层支架电场的作用下经过平移后的双电滞回线。因此，本专利技术通过利用图1结构的反铁电薄膜结构层，并设置反铁电薄膜结构层中顶电极、底电极(或衬底)与中间电极之间的功函数差，即可以同时实现两个反铁电层极化滞回曲线向Y轴平移的效果(如图2b所示)。为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本专利技术作进一步的详细说明。实施例一本专利技术第一实施例提供了一种反铁电存储器，其存储单元的截面结构如图3所示，包括：衬底，在衬底两端设置有源、漏电极；反铁电薄膜结构层，设置于衬底上，且该反铁电薄膜结构层自衬底向上依次包括第一反铁电层、中间电极、第二反铁电层和顶电极；其中，中间电极的功函数同时小于顶电极和衬底各自的功函数，或中间电极的功函数同时大于顶电极和衬底各自的功函数。本实施例中，第一反铁电层和第二反铁电层相同，因此设置顶电极和衬底的功函数相同，并设置中间电极的功函数小于顶电极和衬底的功函数。需要说明的是，在其他实施例中，也可以设置中间电极的功函数大于顶电极和衬底的功函数。最终，结合顶电极与中间电极的功函数差产生的电场、衬底与中间电极的功函数差产生的电场以及对应的栅极电压的作用，实现两个反铁电薄膜层极化滞回曲线向Y轴平移的效果。实施例二本专利技术第二实施例提供了具有另一种结构的反铁电存储器，其存储单元的截面结构如图4所示，包括：衬底，在衬底两端设置有源、漏电极；反铁电薄膜结构层，设置于衬底上，且该反铁电薄膜结构层自衬底向上依次包括底电极、第一反铁电层、中间电极、第二反铁电层和顶电极；绝缘层，设置于反铁电薄膜结构层和衬底之间；其中，中间电极的功函数同时小于顶电极和底电极各自的功函数，或中间电极的功函数同时大于顶电极和底电极各自的功函数。本实施例中，第一反铁电层和第二反铁电层相同，因此设置顶电极和底电极的功函数相同，并设置中间电极的功函数小于顶电极和底电极的功函数。需要说明的是，在其他实施例中，也可以设置中间电极的功函数大于顶电极和底电极的功函数。需要说明的是，在本实施例中，对衬底的功函数不再有任何限制。最终，结合顶电极与中间电极的功函数差产生的电场、底电极与中间电极的功函数差产生的电场以及对应的栅极电压的作用，实现两个反铁电薄膜层极化滞回曲线向Y轴平移的效果。基于上述两个实施例，其中，反铁电薄膜结构层实现过程如下：(1)反铁电薄膜层的主要材料可以是纯ZrO2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种反铁电存储器，其特征在于，包括：/n衬底；/n源电极和漏电极，设置于所述衬底的两端；/n反铁电薄膜结构层，设置于所述衬底上，且所述反铁电薄膜结构层自衬底向上依次包括第一反铁电层、中间电极、第二反铁电层和顶电极；/n其中，所述中间电极的功函数同时小于所述顶电极和所述衬底各自的功函数，或所述中间电极的功函数同时大于所述顶电极和所述衬底各自的功函数。/n

【技术特征摘要】
1.一种反铁电存储器，其特征在于，包括：
衬底；
源电极和漏电极，设置于所述衬底的两端；
反铁电薄膜结构层，设置于所述衬底上，且所述反铁电薄膜结构层自衬底向上依次包括第一反铁电层、中间电极、第二反铁电层和顶电极；
其中，所述中间电极的功函数同时小于所述顶电极和所述衬底各自的功函数，或所述中间电极的功函数同时大于所述顶电极和所述衬底各自的功函数。


2.根据权利要求1所述的反铁电存储器，其特征在于：
所述反铁电薄膜结构层，还包括一底电极，设置于所述第一反铁电层之下；
所述反铁电存储器，还包括一绝缘层，设置于所述反铁电薄膜结构层和所述衬底之间；
其中，所述中间电极的功函数同时小于所述顶电极和所述底电极各自的功函数，或所述中间电极的功函数同时大于所述顶电极和所述底电极各自的功函数。


3.根据权利要求1所述的反铁电存储器，其特征在于：
所述衬底的功函数和所述顶电极的功函数相同。


4.根据权利要求2所述的反铁电存储器，其特征在于：
所述顶电极的功函数和所述底电极的功函数相同。


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【专利技术属性】
技术研发人员：罗庆，王渊，吕杭炳，姜鹏飞，刘明，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11