一种滤芯清理装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及尾气处理技术领域，尤其涉及一种滤芯清理装置及方法，滤芯清理装置包括回收腔体以及设置于回收腔体内部的转轴组件、锤击组件和温控组件，转轴组件用于装载滤芯，锤击组件设置于转轴组件的外侧，用于锤击所述滤芯的表面，温控组件用于对回收腔体内部加热和冷却。本发明专利技术的结构操作简单，成本较低，可大规模使用，回收腔室内可安装多个滤芯，回收的附着物可根据来源不同做好标记，回收物杂质较少，提纯简单，提纯后可以再次利用，减少原料的浪费，减少填埋造成的环境污染，具有较高的经济效益和社会效益。

【技术实现步骤摘要】
一种滤芯清理装置及方法
本专利技术涉及尾气处理
，尤其涉及一种滤芯清理装置及方法。
技术介绍
镀膜是半导体领域的最重要的工艺，采用特种气体在MOCVD设备或者PECVD设备等反应形成特殊需求的半导体膜层或者PN结等。随着半导体产业的发展，特种气体需求量越来越大，特别是砷烷、磷烷、硅烷、乙硅烷等等，这些气体在半导体生产方面起着至关重要的作用，但是这些特殊气体在生产时，利用率一般并不高，比如说砷烷一般利用率为7％～15％，磷烷一般利用率不超过20％等等，大部分工艺气体及反应物等都进入尾气处理系统。这些特种气体及其反应物的尾气处理，一般采用冷阱过滤、高温分解或反应等处理；冷阱含有两级滤芯，吸附反应物及大分子颗粒，然后剩余气体进行高温分解或化学反应吸附，再经过多级过滤和稀释，使尾气达到排放要求。尾气处理滤芯需要高频率定期更换，目前还没有滤芯附着物的回收方法，固体滤芯一般采用填埋处理，但是滤芯上吸附大量的反应物如砷化镓、单质砷、砷化铝、铝铟磷等颗粒，这些颗粒本身都是合成特种气体绝佳反应原料，填埋既造成大量的原料浪费，又对环境有一定的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种滤芯清理装置，其特征在于：包括回收腔体以及设置于所述回收腔体内部的转轴组件、锤击组件和温控组件，所述转轴组件用于装载滤芯，所述锤击组件设置于所述转轴组件的外侧，用于锤击所述滤芯的表面，所述温控组件用于对所述回收腔体内部加热和冷却。/n

【技术特征摘要】
1.一种滤芯清理装置，其特征在于：包括回收腔体以及设置于所述回收腔体内部的转轴组件、锤击组件和温控组件，所述转轴组件用于装载滤芯，所述锤击组件设置于所述转轴组件的外侧，用于锤击所述滤芯的表面，所述温控组件用于对所述回收腔体内部加热和冷却。


2.根据权利要求1所述的滤芯清理装置，其特征在于：所述转轴组件包括驱动轴、偏心轴和从动轴，所述驱动轴一端穿出所述回收腔体，另一端通过联轴器与所述偏心轴一端连接，所述偏心轴的另一端通过联轴器与所述从动轴的一端连接，所述从动轴另一端与所述回收腔体连接。


3.根据权利要求2所述的滤芯清理装置，其特征在于：所述温控组件包括速冷管，所述速冷管沿所述转轴组件的轴向依次贯穿所述驱动轴、所述偏心轴和所述从动轴，所述速冷管的管壁上设有多个通孔，以供所述速冷管内的冷却气喷出。


4.根据权利要求1所述的滤芯清理装置，其特征在于：所述转轴组件的下方设有沉积板。


5.根据权利要求4所述的滤芯清理装置，其特征在于：所述温控组件还包括冷却板，所述冷却板与所述沉积板的底面连接，所述冷却板内置冷却液管路。


6.根据权利要求4所述的滤芯清理装置，其特征在于：还包括抽气组件...

【专利技术属性】
技术研发人员：樊利宽，张英，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11