微型芯片表面缺陷检测视觉伺服系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种故障定位准确、检测效率高、能够客观、无疲劳的实时在线检测的微型芯片表面缺陷检测视觉伺服系统。包括视觉子系统、检测子系统以及控制子系统；其中：视觉子系统用于对传送带上微型芯片进行图像采集和显示，并将信息传递给检测子系统，从而完成图像实时传输；检测子系统将获得清晰的图像进行图像分析处理，分析出图像中的信息，输出芯片中缺陷芯片的位置信息和分类信息；控制子系统,接受检测子系统输出信号，随后经控制器分析处理后输出控制信号控制执行结构。

【技术实现步骤摘要】
微型芯片表面缺陷检测视觉伺服系统
本技术涉及一种视觉伺服系统，具体涉及一种微型芯片表面缺陷检测视觉伺服系统，属于电子元件检测

技术介绍
随着微型芯片需求量和芯片产量不断增加，不难发现人工分拣劳动强度较大，分拣出错率较高等缺点日益突出，造成芯片的分拣效率受到一定程度的限制。传统的人工检测方法因受人眼在时间、空间上的分辨率，以及主观因素等种种限制，已经很难满足芯片高速、高精度的检测需求。鉴于人工检测存在上述不足，用机器视觉和伺服系统取代传统人工目视来对芯片表面进行缺陷检测和分拣，逐渐成为微型芯片生产领域发展的一个重要趋势。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本技术提供一种故障定位准确、检测效率高、能够客观、无疲劳的实时在线检测的微型芯片表面缺陷检测视觉伺服系统。本技术为实现上述目的，通过以下技术方案实现：一种微型芯片表面缺陷检测视觉伺服系统，包括视觉子系统、检测子系统以及控制子系统；其中：视觉子系统，包括装有相机的显微镜、与显微镜连接的传感器以及与传感器互联的视频采集卡，用于对传送带上微型芯片进本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微型芯片表面缺陷检测视觉伺服系统，其特征在于：包括视觉子系统、检测子系统以及控制子系统；其中：/n视觉子系统，包括装有相机的显微镜、与显微镜连接的传感器以及与传感器互联的视频采集卡，用于对传送带上微型芯片进行图像采集和显示，并将信息传递给检测子系统，从而完成图像实时传输；/n检测子系统, 包括与视频采集卡连接的工控机和用于用户和工控机之间进行信息交换的人机交互界面，将获得清晰的图像进行图像分析处理，分析出图像中的信息，输出芯片中缺陷芯片的位置信息和分类信息；/n控制子系统, 接受检测子系统输出信号，随后经控制器分析处理后输出控制信号控制执行结构，执行结构包括传送机构和分拣机构，传送机构...

【技术特征摘要】
1.一种微型芯片表面缺陷检测视觉伺服系统，其特征在于：包括视觉子系统、检测子系统以及控制子系统；其中：
视觉子系统，包括装有相机的显微镜、与显微镜连接的传感器以及与传感器互联的视频采集卡，用于对传送带上微型芯片进行图像采集和显示，并将信息传递给检测子系统，从而完成图像实时传输；
检测子系统,包括与视频采集卡连接的工控机和用于用户和工控机之间进行信息交换的人机交互界面，将获得清晰的图像进行图像分析处理，分析出图像中的信息，输出芯片中缺陷芯片的位置信息和分类信息；
控制子系统,接受检测子系统输出信号，随后经控制器分析处理后输出控制信号控制执行结构，执行结构包括传送机构和分拣机构，传送机构包括步进电机驱动的传送带、设置在传送带上的载物台、设置在载物台上的用于放置微型芯片的芯片盒；分拣机构包括带有吸盘的三自由度机械臂、与吸盘连接的真空发生器和通过安装有控制阀的管路与真空发生器连接的空气压缩机。

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【专利技术属性】
技术研发人员：李新庆，陈乃阔，吴登勇，
申请(专利权)人：山东超越数控电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37