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本实用新型提供一种故障定位准确、检测效率高、能够客观、无疲劳的实时在线检测的微型芯片表面缺陷检测视觉伺服系统。包括视觉子系统、检测子系统以及控制子系统;其中:视觉子系统用于对传送带上微型芯片进行图像采集和显示,并将信息传递给检测子系统,从而...该专利属于山东超越数控电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东超越数控电子股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种故障定位准确、检测效率高、能够客观、无疲劳的实时在线检测的微型芯片表面缺陷检测视觉伺服系统。包括视觉子系统、检测子系统以及控制子系统;其中:视觉子系统用于对传送带上微型芯片进行图像采集和显示,并将信息传递给检测子系统,从而...