直接成像光学设备制造技术

本发明专利技术提供一种直接成像光学设备，包括：光源，用于提供散射光；准直透镜，所述准直透镜接收自所述光源的所述散射光，并将所述散射光转换为平行光；复眼透镜，所述复眼透镜接收来自所述准直透镜的所述平行光，并对所述平行光进行匀光；中继透镜，所述中继透镜接收来自所述复眼透镜经过匀光后的所述平行光，并对所述平行光的进行延伸和聚焦；空间光调制器，所述空间光调制器接收来自所述中继透镜的所述平行光，并将所述平行光进行空间光调制；光刻成像镜头，所述光刻成像镜头接收来自所述空间光调制器经过空间光调制的光并将其在预定位置成像。根据本发明专利技术的直接成像光学设备，结构简便、光学质量较佳、光刻效果较好且节约成本。

【技术实现步骤摘要】
直接成像光学设备
本专利技术涉及直接成像领域，具体涉及一种直接成像光学设备。
技术介绍
直接成像设备是近年来逐步发展起来的，应用于PCB(印刷电路板)、FPC(柔性电路板)、FPD(平板显示器)、IC(集成电路)等行业的，取代传统菲林及Mask(掩膜)等接触式成像工艺的一种新型技术。但是现有的直接成像设备存在结构复杂臃肿、成本较高的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供一种直接成像光学设备，结构简便、光学质量较佳、光刻效果较好且节约成本。为解决上述技术问题，一方面，本专利技术提供一种直接成像光学设备，包括：光源，用于提供散射光；准直透镜，所述准直透镜接收自所述光源的所述散射光，并将所述散射光转换为平行光；复眼透镜，所述复眼透镜接收来自所述准直透镜的所述平行光，并对所述平行光进行匀光；中继透镜，所述中继透镜接收来自所述复眼透镜经过匀光后的所述平行光，并对所述平行光的进行延伸和聚焦；空间光调制器，所述空间光调制器接收来自所述中继透镜的所述平行光，并将所述平行光进行空本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种直接成像光学设备，其特征在于，包括：/n光源(1)，用于提供散射光；/n准直透镜(2)，所述准直透镜(2)接收自所述光源(1)的所述散射光，并将所述散射光转换为平行光；/n复眼透镜(4)，所述复眼透镜(4)接收来自所述准直透镜(2)的所述平行光，并对所述平行光进行匀光；/n中继透镜(5)，所述中继透镜(5)接收来自所述复眼透镜(4)经过匀光后的所述平行光，并对所述平行光的进行延伸和聚焦；/n空间光调制器(6)，所述空间光调制器(6)接收来自所述中继透镜(5)的所述平行光，并将所述平行光进行空间光调制；/n光刻成像镜头，所述光刻成像镜头接收来自所述空间光调制器(6)经过空间光调制的光并将...

【技术特征摘要】
1.一种直接成像光学设备，其特征在于，包括：
光源(1)，用于提供散射光；
准直透镜(2)，所述准直透镜(2)接收自所述光源(1)的所述散射光，并将所述散射光转换为平行光；
复眼透镜(4)，所述复眼透镜(4)接收来自所述准直透镜(2)的所述平行光，并对所述平行光进行匀光；
中继透镜(5)，所述中继透镜(5)接收来自所述复眼透镜(4)经过匀光后的所述平行光，并对所述平行光的进行延伸和聚焦；
空间光调制器(6)，所述空间光调制器(6)接收来自所述中继透镜(5)的所述平行光，并将所述平行光进行空间光调制；
光刻成像镜头，所述光刻成像镜头接收来自所述空间光调制器(6)经过空间光调制的光并将其在预定位置成像。


2.根据权利要求1所述的直接成像光学设备，其特征在于，所述空间光调制器(6)为数字微镜器件组件。


3.根据权利要求2所述的直接成像光学设备，其特征在于，还包括：
上位机，所述上位机连接所述数字微镜器件组件，所述上位机接收图形文件，并将所述图形文件处理为图形数据，并将所述图形数据传递至所述数字微镜器件组件，以使得所述数字微镜器件组件根据所述图形数据进行空间光调制。


4.根据权利要求3所述的直接成像光学设备，其特征在于，所述数字微镜器件组件包括：
数字微镜器件芯片，所述数字微镜器件芯片包括多个角度可调整的微镜片，所述数字微镜器件组件通过数字微镜器件芯片接收所述平行光并通过调整所述微镜片的角度实现所述空间光调制。


5.根据权利要求4所述的直接成像光学设备，其特征在于，所述数字微镜器件组件还包括：
芯片控制器，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：祝锁，陶帅洋，熊让安，曹葵康，温延培，
申请(专利权)人：苏州天准科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32