氧传感器制造技术

在氧传感器中，提供本体并且在该本体的表面上层叠多个功能层，所述功能层至少包括具有氧离子传导性的固体电解质层和其间插入该固体电解质层的一对电极层；在本体表面上层叠了功能层后进行烧制，在烧制期间从本体向功能层的外表面顺序进行本体和功能层的烧结。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及氧传感器。
技术介绍
已经提出了许多种氧传感器。1996年5月7日公布的日本专利申请第一次公开第8-114571号例示了先前提出的氧传感器。在上述日本专利申请第一次公开的氧传感器中，向本体上形成的加热器图案供电并加热，从而活化具有氧离子传导性固体电解质层并且由通过该固体电解质层彼此相对布置的一对电极之间的电势差检测氧浓度。在如上所述的这种氧传感器中，检测元件通常以作为功能层的多层形式层叠，例如固体电解质层、电极层、绝缘层和保护层，并且通过烧制(或者称作烧成)层叠的功能层来形成。
技术实现思路
但是，在
技术介绍
中描述的先前提出的氧传感器中，根据功能层中包括的每层材料的设置，在烧制期间通常存在在烧制期间从外层(检测元件外表面)进行烧结的情况。在此情况中，在上述先前提出的氧传感器中，在内侧(本体侧)的(一个或多个)层内存在应力，每层之间的结合状态变得不稳定并且在功能层的每层内可能产生裂纹。因此，本专利技术的目的是提供一种能够抑制检测元件的内部残余应力随着烧制而发展的氧传感器及其制造方法。为了实现上述目的，根据本专利技术的一个方面，提供了一种氧传感器，其包括本体和层叠在该本体表本文档来自技高网...

【技术保护点】
氧传感器，其包括：本体；及层叠在该本体表面上的多个功能层，该功能层至少包括具有氧离子传导性的固体电解质层和其间插入该固体电解质层的一对电极层，在本体表面上层叠了功能层后进行烧制，在烧制期间，从本体向功能层的外表面顺序进行本体和功能层的烧结。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：一柳太，森启治，川岛正己，内川晶，堺祥一，塚田正夫，
申请(专利权)人：株式会社日立制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]